[发明专利]对准机构、卡盘装置及贴合装置

说明书

对准机构具备具有第一旋转轴(61c)的旋转部(61)、三个动力传递机构(62)以及三个对准作用部(63)。各动力传递机构(62)具备第一臂(621)以及第二臂(622)。第一臂(621)具有：第一端部(621a)，轴支承于三个不同的位置(P11～P13)中的对应的位置；以及第二端部(621b)，位于该第一端部(621a)的相反侧。第二臂(622)具有第二旋转轴(622c)，并且在与该第二旋转轴(622c)不同的位置轴支承于第一臂(621)的第二端部(621b)。各对准作用部(63)连接到对应的第二臂，并且第二旋转轴(622c)配置于在以第一旋转轴(61c)为中心的不同的三个方向上离开旋转部(61)的三个位置(P21～P23)。

技术领域

本发明的一实施方式涉及一种以晶片等为对象的位置调整技术。

背景技术

保持晶片等对象的卡盘装置应用于各种机械装置。例如，在贴合装置中存在很多如下所述的装置：具备上下配置的一对卡盘部，使吸附贴合对象的吸附面彼此对置(例如，参照专利文献1)。在这样的贴合装置中，通过使用致动器等驱动机构(包括滚珠丝杠等)使其中一个卡盘部直接移动，由此夹紧并粘贴吸附面之间的两个贴合对象(例如，参照专利文献1)。

以往，贴合对象在卡盘部的吸附面上的定位由将该贴合对象搬运到吸附面上的搬运装置来进行(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-265266号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

近年来，希望将形成有集成电路的晶片等精密产品作为贴合对象。因此，对于贴合对象在卡盘部的吸附面上的定位，要求高精度。然而，如以往那样贴合对象的定位由搬运装置进行时，定位精度有限，难以获得希望的精度。另外，通过使用摄像机和显微镜等光学装置，能够实现高精度下的贴合对象的定位。然而，光学装置成为引起贴合装置复杂化和高成本化的原因。

因此，本发明的至少一个实施方式的目的在于，提供一种能够在以晶片等为对象的定位中容易地实现高精度的技术。

用于解决技术问题的技术手段

本发明的一实施方式的对准机构具备：旋转部，具有第一旋转轴；三个动力传递机构，所述三个动力传递机构分别轴支承于该旋转部中偏离第一旋转轴的三个不同的位置；以及三个对准作用部，通过该三个动力传递机构分别被传递旋转部的旋转从而进行动作。三个动力传递机构各自具备第一臂以及第二臂。第一臂具有轴支承于三个不同的位置中的对应的位置的第一端部、以及位于该第一端部的相反侧的第二端部。第二臂具有第二旋转轴，并且在与该第二旋转轴不同的位置轴支承于第一臂的第二端部。三个对准作用部与三个动力传递机构所具备的第二臂分别连接，该三个第二臂中各自所具有的第二旋转轴配置于在以第一旋转轴为中心的不同的三个方向上离开旋转部的三个位置。

根据上述对准机构，能够伴随旋转部的旋转使三个第二臂同步转动。而且，同步的第二臂的转动被传递至与各自相对应的三个对准作用部。因此，能够使三个对准作用部同步地向内侧移动。由此，通过三个对准作用部从三个方向夹住对准对象，其结果是，对准对象的位置被调整并被引导至规定位置。

发明效果

根据本发明的至少一个实施方式，能够在以晶片等为对象的定位中容易地实现高精度。

附图说明

图1是示出第一实施方式的贴合装置的结构的示意图。

图2的(A)是示出贴合装置所具备的对准机构的立体图，图2的(B)是示出对准机构的安装状态的立体图。

图3的(A)、图3的(B)是示出对准机构的动作的俯视图。