[发明专利]用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统

权利要求书

1.一种用于感测工艺和/或设备测量数据的变化的方法，所述方法包括：

基于参考数据和比较数据的统计分布来提取参考数据和比较数据的部分的步骤；

基于规范计算目标范围的步骤；

从提取的参考数据和比较数据之中识别包括在目标范围中的数据并确定数据的变化的第一确定步骤，

其中，所述方法还包括：

测试参考数据的分布与比较数据的分布之间的显著性差异的第一测试步骤；

测试参考数据或比较数据的代表值的变化的第二测试步骤；

基于第一测试步骤中的测试的结果和第二测试步骤中的测试的结果，确定数据的变化的第二确定步骤；

基于第一确定步骤中的确定的结果和第二确定步骤中的确定的结果，最终确定数据的变化的步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，计算的步骤包括根据下面的数学等式计算目标范围的步骤：

目标范围＝|规范上限(USL)-规范下限(LSL)|×w1

TUL(目标上限)＝目标+w2×|USL-LSL|

TLL(目标下限)＝目标-w2×|USL-LSL|

其中，目标是规范的目标值，w1和w2是权重值。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，提取的步骤包括提取包括在设置的置信区间中的参考数据和比较数据的步骤。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，第一确定步骤包括下面步骤：当包括在目标范围中的参考数据的第一包含率与包括在目标范围中的比较数据的第二包含率之间存在显著性差异时，确定数据的变化。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，第一确定步骤包括：

当第二包含率小于第一包含率时，确定数据的变化由质量劣化导致的步骤；

当第二包含率大于第一包含率时，确定数据的变化由质量提高导致的步骤。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，第二测试步骤包括：

当在第一测试步骤中测试到分布中存在显著性差异时，根据第一测试技术测试代表值的变化的步骤；

当在第一测试步骤中测试到分布中不存在显著性差异时，根据第二测试技术测试代表值的变化的步骤。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，第二测试步骤包括：

当第二绝对差大于第一绝对差时，确定数据的变化由质量劣化导致的步骤，其中，第二绝对差是“比较数据的代表值与规范的目标值之间的绝对差”，第一绝对差是“参考数据的代表值与规范的目标值之间的绝对差”；

当第二绝对差小于第一绝对差时，确定数据的变化由质量提高导致的步骤。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括：

设置数据变化分析类型的步骤；

通过使用包括参考数据和比较数据的测量数据，针对每种变化分析类型计算工艺能力指标的步骤；

基于计算的工艺能力指标的大小，确定数据的变化的第三确定步骤，

其中，确定的步骤包括基于在第一确定步骤中的确定的结果、在第二确定步骤中的确定的结果以及在第三确定步骤中的确定的结果，最终确定数据的变化的步骤。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，数据变化分析类型包括以下类型中的至少一种：关于工艺的参考数据和比较数据的比较分析类型、关于设备的参考数据和比较数据的比较分析类型、设备间测量数据比较分析类型、以及最佳性能设备与其他设备之间的测量数据比较分析类型。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，计算的步骤包括：还根据每种规范类型计算工艺能力指标的步骤，

其中，规范类型包括以下项中的至少一种：越大特性越好规范、越小特性越好规范、以及正常则特性最佳规范。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，参考数据是第一时间部分的测量数据，

其中，比较数据是第二时间部分的测量数据，

其中，第一时间部分在第二时间部分之前。