[发明专利]用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统

说明书

提供一种用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统。根据本发明的实施例的数据变化感测方法基于参考数据和比较数据的统计分布提取部分，基于规范计算目标范围，并从提取的参考数据和比较数据之中辨别包括在目标范围中的数据以确定数据变化。因此，工艺或设备的测量数据的微小变化可在制造工艺中被感测，从而能够预先估计产品的潜在的质量可变性并采取用于防止质量劣化的快速预先措施。

技术领域

本公开涉及用于感测数据的变化的技术，更具体地讲，涉及一种用于感测关于制造工艺中的工艺或设备中的测量数据的变化的方法和系统。

背景技术

为了实现生产的产品的稳定的质量，需要感测关于工艺/设备的测量数据的变化。如果感测到微小变化，则可通过更迅速地采取初期措施，最小化或者提高质量的可变性。

然而，当前的感测技术不足以感测微小变化。例如，通常在制造场地执行的统计工艺控制技术局限于根据数据的偏差和定义的规则感测短期的向下趋势或向上趋势，并且对于识别或感测前测量数据与后测量数据之间的微小变化存在限制。

因此，需要用于感测关于工艺或设备的测量数据的微小变化的方法。

发明内容

技术问题

开发本公开以解决以上讨论的现有技术的缺陷，并且本公开的目标是提供一种用于感测关于制造工艺中的工艺或设备的测量数据的微小变化的方法和系统，作为用于对产品的质量可变性最小化的预先措施的方法。

技术方案

根据用于实现上述目标的本公开的实施例，一种用于感测数据的变化的方法包括：基于参考数据和比较数据的统计分布来提取数据的部分的步骤；基于规范计算目标范围的步骤；从提取的参考数据和比较数据之中识别包括在目标范围中的数据并确定数据的变化的第一确定步骤。

此外，所述计算的步骤可包括根据下面的数学等式计算目标范围的步骤：

目标范围＝|规范上限(USL)-规范下限(LSL)|×w1

TUL(目标上限)＝目标+w2×|USL-LSL|

TLL(目标下限)＝目标-w2×|USL-LSL|

其中，目标是规范的目标值，w1和w2是权重值。

此外，所述提取的步骤可包括提取包括在设置的CI中的参考数据和比较数据的步骤。

此外，第一确定步骤可包括下面的步骤：当包括在目标范围中的参考数据的第一包含率与包括在目标范围中的比较数据的第二包含率之间存在显著性差异时，确定数据的变化。

此外，第一确定步骤可包括：当第二包含率小于第一包含率时，确定数据的变化由质量劣化导致的步骤；当第二包含率大于第一包含率时，确定数据的变化由质量提高导致的步骤。

根据本公开的实施例，所述方法还可包括：测试参考数据的分布与比较数据的分布之间的显著性差异的第一测试步骤；测试参考数据和比较数据的代表值的变化的第二测试步骤；基于第一测试步骤中的测试的结果和第一测试步骤中的测试的结果，确定数据的变化的第二确定步骤；基于第一确定步骤中的确定的结果和第二确定步骤中的确定的结果，最终确定数据的变化的步骤。

此外，第二测试步骤可包括：当在第一测试步骤中测试到分布中存在显著性差异时，根据第一测试技术测试代表值的变化的步骤；当在第一测试步骤中测试到分布中不存在显著性差异时，根据第二测试技术测试代表值的显著性差异的步骤。

第二测试步骤可包括：当第二绝对差大于第一绝对差时，确定数据的变化由质量劣化导致的步骤，其中，第二绝对差是“比较数据的代表值与规范的目标值之间的绝对差”，第一绝对差是“参考数据的代表值与规范的目标值之间的绝对差”；当第二绝对差小于第一绝对差时，确定数据的变化由质量提高导致的步骤。