[发明专利]玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其包含如下工序：在将玻璃基板以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的同时，使用从供气口向所述处理空间供给且通过排气口从所述处理空间排出的处理气体，来对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理，其中，所述供气口设置于所述下部构成体，所述排气口分别设置于所述下部构成体中的所述输送方向的上游侧端部及下游侧端部，

所述玻璃基板的制造方法的特征在于，

在所述上游侧端部的排气口与所述下游侧端部的排气口之间，沿着所述输送方向配置多个所述供气口，从各供气口供给所述处理气体，

在多个所述供气口中，使所述输送方向的最下游侧的所述供气口供给的所述处理气体的流量最多。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

使所述下游侧端部的排气口与最下游侧的所述供气口的沿着所述输送方向的相互间距离比所述上游侧端部的排气口与最上游侧的所述供气口的沿着所述输送方向的相互间距离长。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

将所述处理气体以加热了的状态向所述处理空间供给。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

将所述供气口形成为在所述玻璃基板的与所述输送方向正交的宽度方向上呈长条的狭缝状。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

使所述下部构成体中的所述供气口的周边区域与其他区域相比位于高位。

6.一种玻璃基板的制造方法，其包含如下工序：在将玻璃基板以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的同时，使用从供气口向所述处理空间供给且通过排气口从所述处理空间排出的处理气体，来对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理，其中，所述供气口设置于所述下部构成体，所述排气口分别设置于所述下部构成体中的所述输送方向的上游侧端部及下游侧端部，

所述玻璃基板的制造方法的特征在于，

在所述上游侧端部的排气口与所述下游侧端部的排气口之间，沿着所述输送方向配置多个所述供气口，从各供气口供给所述处理气体，

使所述下游侧端部的排气口与最下游侧的所述供气口的沿着所述输送方向的相互间距离比所述上游侧端部的排气口与最上游侧的所述供气口的沿着所述输送方向的相互间距离长。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

将所述处理气体以加热了的状态向所述处理空间供给。

8.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

将所述供气口形成为在所述玻璃基板的与所述输送方向正交的宽度方向上呈长条的狭缝状。

9.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

使所述下部构成体中的所述供气口的周边区域与其他区域相比位于高位。

10.一种玻璃基板的制造方法，其包含如下工序：在将玻璃基板以平放姿势沿输送方向输送，使得该玻璃基板通过在对置配置的上部构成体与下部构成体的相互之间形成的处理空间的同时，使用从供气口向所述处理空间供给且通过排气口从所述处理空间排出的处理气体，来对所述玻璃基板的下表面实施蚀刻处理，其中，所述供气口设置于所述下部构成体，所述排气口分别设置于所述下部构成体中的所述输送方向的上游侧端部及下游侧端部，

所述玻璃基板的制造方法的特征在于，

使所述下部构成体中的所述供气口的周边区域与其他区域相比位于高位，

在所述上游侧端部的排气口与所述下游侧端部的排气口之间，沿着所述输送方向配置多个所述供气口，从各供气口供给所述处理气体。