[发明专利]用于改良型装载端口的系统、装置和方法

权利要求书

1.一种装载端口系统，包括：

一框架，该框架支撑一坞部(dock)及一载体开启器；

一升降机和一升降机臂，该升降机和该升降机臂是可操作的以升高及降低该载体开启器；

一隔离室，该升降机和该升降机臂是可操作的以在该隔离室内移动，该隔离室包含一容积，该容积与一设施前端模块(EFEM)的一容积部分地隔离；及

一净化供应，该净化供应位于该隔离室内，该净化供应是可操作的以净化该隔离室的反应性气体，该反应性气体受困于该隔离室内，

其中该隔离室的一侧形成有开口，使得该隔离室通过该开口与该EFEM流体连通，并且该升降机臂通过该开口延伸进入该EFEM。

2.如权利要求1所述的装载端口系统，进一步包含一壳体，该壳体安装于该框架上且与该框架一起界定出该隔离室的该容积，其中该净化供应经由该壳体进入该隔离室。

3.如权利要求1所述的装载端口系统，其中该隔离室内的该净化供应是可操作的以使用一非反应性气体来净化该隔离室，该非反应性气体与将被传递通过该EFEM的闸的基板是非反应性的。

4.如权利要求3所述的装载端口系统，其中该反应性气体为氧，且该非反应性气体为氮。

5.如权利要求1所述的装载端口系统，其中该隔离室内的该净化供应设置于该隔离室的一下端且经布置以迫使该反应性气体向上离开该隔离室。

6.如权利要求1所述的装载端口系统，其中该隔离室内的该净化供应设置于该隔离室的一上端，且经布置以迫使该反应性气体向下离开该隔离室。

7.如权利要求1所述的装载端口系统，其中该隔离室包含一通风口，该通风口由该隔离室形成并与该净化供应相对。

8.一种装载端口，包括：

一隔离室，该隔离室用于一升降机和一升降机臂，该隔离室由一壳体及一框架来界定，该隔离室包含一容积，该容积与一设施前端模块(EFEM)的一容积部分地隔离，该EFEM与该装载端口是可耦接的；及

一净化供应，该净化供应位于该隔离室内，该净化供应是可操作的以净化该隔离室的反应性气体，该反应性气体受困于该隔离室内，

其中该隔离室的一侧形成有开口，使得该隔离室通过该开口与该EFEM流体连通，并且该升降机臂通过该开口延伸进入该EFEM。

9.如权利要求8所述的装载端口，其中该净化供应经由该壳体进入该隔离室。

10.如权利要求8所述的装载端口，其中该隔离室内的该净化供应是可操作的以使用一非反应性气体来净化该隔离室，该非反应性气体与将被传递通过该EFEM的基板是非反应性的。

11.如权利要求10所述的装载端口，其中该反应性气体为氧，且该非反应性气体为氮。

12.如权利要求8所述的装载端口，其中该隔离室内的该净化供应设置于该隔离室的一下端，且经布置以迫使该反应性气体向上离开该隔离室。

13.如权利要求8所述的装载端口，其中该隔离室内的该净化供应设置于该隔离室的一上端，且布置以迫使该反应性气体向下离开该隔离室，并且其中该隔离室包含一通风口，该通风口由该隔离室形成并与该净化供应相对。