[发明专利]用于高敏感度重复项缺陷检测的系统及方法

权利要求书

1.一种经配置以检测光罩上的缺陷的系统，其包括：

检验子系统，其经配置以扫描晶片以借此产生所述晶片的图像，其中光罩用于在光刻工艺中将特征印刷于所述晶片上；及

一或多个计算机子系统，其包括：

一或多个图像处理组件，其经配置用于获取由所述检验子系统针对所述晶片产生的所述图像；

主用户接口组件，其经配置用于将针对所述晶片及所述光罩产生的信息提供到用户且用于接收来自所述用户的指令；及

接口组件，其经配置用于提供所述一或多个图像处理组件与所述主用户接口组件之间的接口且用于控制所述检验子系统的一或多个硬件元件；

其中所述一或多个图像处理组件经进一步配置用于通过将重复项缺陷检测算法应用到由所述一或多个图像处理组件获取的所述图像而执行重复项缺陷检测，且其中所述重复项缺陷检测算法经配置以使用热阈值来检测所述晶片上的缺陷且识别是重复项缺陷的所述缺陷；

其中所述一或多个图像处理组件经进一步配置用于将包括仅所述重复项缺陷的信息的检验结果发送到所述接口组件；及

其中所述一或多个计算机子系统经配置用于基于所述晶片上检测到的所述重复项缺陷识别所述光罩上的缺陷。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述重复项缺陷检测算法经进一步配置以通过使不同的所述缺陷的裸片内缺陷坐标彼此比较而识别是重复项缺陷的所述缺陷。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个图像处理组件经进一步配置用于存储所有经检测的所述缺陷的信息。

4.根据权利要求1所述的系统，其中执行所述重复项缺陷检测仅针对所述晶片上的单个扫描带予以执行。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个图像处理组件经进一步配置为虚拟检验器，且其中所述一或多个计算机子系统经进一步配置用于在从所述检验子系统获取所述图像之后且在执行所述重复项缺陷检测之前将所述虚拟检验器与所述检验子系统断开连接。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个图像处理组件经进一步配置用于通过将缺陷检测算法应用到由所述检验子系统针对所述晶片上的多个裸片行中的相同单个扫描带产生的所述图像而执行单个扫描带多裸片行缺陷检测且用于将所述单个扫描带多裸片行缺陷检测的结果发送到所述接口组件，且其中所述接口组件或所述主用户接口组件对所述单个扫描带多裸片行缺陷检测的所述结果执行重复项缺陷检测。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个图像处理组件包括可针对由所述一或多个图像处理组件执行的多个过程存取的共享非暂时性计算机可读存储媒体，且其中所述重复项缺陷检测算法经进一步配置以检测所述晶片的整个经检验的区域上的所述缺陷；将所有经检测的所述缺陷存储于所述共享非暂时性计算机可读存储媒体中；及针对所述晶片的所述整个经检验的区域使用所有经存储的经检测的所述缺陷识别是所述重复项缺陷的所述缺陷。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个图像处理组件经进一步配置用于通过将缺陷检测算法应用到由所述检验子系统针对所述晶片上的多个裸片行中的相同单个扫描带产生的所述图像而执行单个扫描带多裸片行缺陷检测且将所述单个扫描带多裸片行缺陷检测的结果存储于可针对由所述一或多个图像处理组件执行的多个过程存取的所述一或多个图像处理组件中的共享非暂时性计算机可读存储媒体中，且其中所述重复项缺陷检测算法经进一步配置以检测所述多个裸片行中的相同单个扫描带的整个经检验的区域中的所述缺陷；将所有经检测的所述缺陷存储于所述共享非暂时性计算机可读存储媒体中；及针对所述多个裸片行中的相同单个扫描带的所述整个经检验的区域使用所有经存储的经检测的所述缺陷识别是所述重复项缺陷的所述缺陷。