[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201780071679.5 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN109997021B | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 滩秀明;井上敦夫 | 申请(专利权)人: | NISSHA株式会社 |
主分类号: | G01L5/00 | 分类号: | G01L5/00 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;霍玉娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,其中,
所述压力传感器具备:
第一绝缘基材;
共用电极,其扩展地形成于所述第一绝缘基材的主表面;
第二绝缘基材,其配置为与所述第一绝缘基材的所述主表面对置;
多个独立电极,其设置为与所述共用电极对置地铺满所述第二绝缘基材的所述第一绝缘基材侧的主表面;
压敏层,其层叠于所述多个独立电极以及所述共用电极中的至少一方之上;
多个薄膜晶体管,其与所述多个独立电极对应地设置于所述第二绝缘基材的与所述主表面相反的一侧,且一个所述薄膜晶体管或邻接的两个以上的所述薄膜晶体管连接于一个独立电极;以及
第一独立间隔件以及第二独立间隔件,它们在所述第二绝缘基材的所述主表面上配置于所述多个独立电极之间,并与所述共用电极对置,
所述第二独立间隔件形成为高于所述第一独立间隔件,
所述多个独立电极具有:
低压用独立电极,利用其周围的所述第一独立间隔件以及所述第二独立间隔件的配置而将该低压用独立电极设定为,仅通过为了使所述第一绝缘基材和所述第二绝缘基材接近而作用低压力便可使所述低压用独立电极与所述共用电极导通;以及
高压用独立电极,利用其周围的所述第一独立间隔件以及所述第二独立间隔件的配置而将该高压用独立电极设定为,当为了使所述第一绝缘基材和所述第二绝缘基材接近而作用低压力时,所述高压用独立电极不与所述共用电极导通,当作用高压力时,所述高压用独立电极与所述共用电极导通。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其中,所述高压用独立电极与所述第二独立间隔件邻接。
3.根据权利要求2所述的压力传感器,其中,所述高压用独立电极被夹持在所述第二独立间隔件之间。
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