[发明专利]压力传感器

说明书

在压力传感器1中，多个独立电极31被设置为与共用电极9对置地铺满第二绝缘膜27的绝缘膜7侧的主表面。压敏层9层叠于多个独立电极31之上。第一独立间隔件35A以及第二独立间隔件35B在第二绝缘膜27的上表面上配置于多个独立电极31之间，并与共用电极9对置。第二独立间隔件35B形成为高于第一独立间隔件35A。多个独立电极31具有低压用的独立电极31和高压用的独立电极31。利用周围的第一独立间隔件35A以及第二独立间隔件35B的配置，使得低压用的独立电极31仅通过作用低压力就与共用电极9导通。利用周围的第一独立间隔件35A以及第二独立间隔件35B的配置，使得高压用的独立电极31在作用低压力时不与共用电极9导通，当作用高压力时与共用电极9导通。

技术领域

本发明涉及压力传感器，尤其涉及具有压敏层和作为电极的多个薄膜晶体管的压力传感器。

背景技术

作为压力传感器已知有在压敏树脂中组合多个薄膜晶体管而成的压力传感器(例如参照专利文献1)。

压敏树脂是将导电性颗粒分散在硅橡胶等绝缘树脂内而成的。在压敏树脂中，若对其施加压力，则在绝缘树脂内导电性颗粒之间进行接触，从而使电阻值降低。由此，能够对施加在压敏树脂上的压力进行检测。

多个薄膜晶体管配置为矩阵状，并作为电极而发挥功能。由此，能够实现压力检测的高速化、高分辨率化、低功耗化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-4940号公报

发明内容

发明所要解决的问题

还已知有空出规定间隙地对置配置压敏层和多个电极而成的压力传感器。

通常，利用压敏层的接触面积的变化的压力传感器具有压敏层的压力测定范围较窄的问题。具体而言，在压力-电阻特性中，在压力较低的范围，电阻的变化比例较大，而在压力较高的范围，电阻的变化比例较小。其理由是，即使压力变高，压敏层与电极的接触面积也不会从中途变大，即，接触电阻并不会追随压力。其结果是，在压力较高的范围，灵敏度不足而无法准确地测定压力。

另外，由于压力集中于多个独立电极而容易造成损坏，因此压力传感器的耐久性不高。

本发明的目的在于，在具有相互之间空出间隙地配置的多个电极的压力传感器中，扩大能够准确测定的压力测定范围。

本发明的另一个目的在于提高压力传感器的耐久性。

用于解决问题的方法

以下对作为用于解决问题的方案的多个方式进行说明。这些方式能够根据需要而任意地进行组合。

本发明的一个观点所涉及的压力传感器具备：第一绝缘基材、共用电极、第二绝缘基材、多个独立电极、压敏层、多个薄膜晶体管以及第一独立间隔件以及第二独立间隔件。

共用电极扩展地形成于第一绝缘基材的主表面。

第二绝缘基材配置为与第一绝缘基材的主表面对置。

多个独立电极设置为与共用电极对置地铺满第二绝缘基材的第一绝缘基材侧的主表面。

压敏层层叠于多个独立电极以及共用电极中的至少一方之上。

多个薄膜晶体管与多个独立电极对应地设置于第二绝缘基材的与主表面相反的一侧，且一个薄膜晶体管或邻接的两个以上的所述薄膜晶体管连接于一个独立电极。

第一独立间隔件以及第二独立间隔件在第二绝缘基材的主表面上配置于多个独立电极之间，并与共用电极对置。

第二独立间隔件形成为高于第一独立间隔件。