[发明专利]弹性波装置、前端电路以及通信装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电基板；以及

IDT电极，设置在所述压电基板，其中，

所述IDT电极具有：

汇流条电极，在弹性波传播方向上延伸；以及

多个电极指，与所述汇流条电极连接，并在所述弹性波传播方向的正交方向上延伸，

所述压电基板具有沿着所述弹性波传播方向形成的至少一个以上的槽，

在所述正交方向上从所述汇流条电极观察，所述至少一个以上的槽设置在与形成有所述多个电极指侧相反侧。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述至少一个以上的槽由多个槽构成，

所述多个槽在所述正交方向上相互对置。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电基板具有：

支承基板；

压电层，位于所述支承基板上；以及

中间层，设置在所述支承基板与所述压电层之间，

所述IDT电极设置在所述压电层上，

所述至少一个以上的槽从所述压电层形成至到达所述中间层的至少一部分。

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电基板具有：

支承基板；

压电层，位于所述支承基板上；以及

中间层，设置在所述支承基板与所述压电层之间，

所述IDT电极设置在所述压电层上，

所述至少一个以上的槽未形成在所述压电层而形成在所述中间层的至少一部分。

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

所述中间层具有晶界。

6.根据权利要求3～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述中间层与所述压电层相接。

7.根据权利要求3～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述中间层包含一个或多个SiO₂层。

8.根据权利要求3～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述中间层传播的体波声速与在所述压电层传播的弹性波声速相比为低速，

在所述支承基板传播的体波声速与在所述压电层传播的弹性波声速相比为高速。

9.根据权利要求3～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述中间层具有：

低声速膜，传播的体波声速与在所述压电层传播的弹性波声速相比为低速；以及

高声速膜，传播的体波声速与在所述压电层传播的弹性波声速相比为高速，

所述低声速膜设置在所述压电层与所述支承基板之间，

所述高声速膜设置在所述低声速膜与所述支承基板之间。

10.根据权利要求3～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述中间层中，低声阻抗层以及声阻抗比所述低声阻抗层高的高声阻抗层各自层叠有至少一层以上，

所述低声阻抗层的至少一层设置在比所述高声阻抗层靠所述压电层侧。

11.根据权利要求8～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述至少一个以上的槽从所述压电层经过所述中间层形成至到达所述支承基板的一部分。

12.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述压电基板设置有与所述IDT电极连接的输入输出布线，

所述至少一个以上的槽设置在与所述输入输出布线不同的位置。

13.根据权利要求1～11中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述压电基板设置有与所述IDT电极连接的输入输出布线，

所述输入输出布线绕过所述槽而形成。