[发明专利]弹性波装置、前端电路以及通信装置

说明书

弹性波装置(1)具备：压电基板(11)；以及IDT电极(5)，设置在压电基板(11)。IDT电极(5)具有：汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))，在弹性波传播方向(D1)上延伸；以及多个电极指(8a(或8b))，与汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))连接，并在弹性波传播方向(D1)的正交方向(D2)上延伸。压电基板(11)具有沿着弹性波传播方向(D1)形成的槽(10C、10D)，在正交方向(D2)上从汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))观察，槽(10C(或10D))设置在与形成有多个电极指(8a(或8b))侧相反侧。

技术领域

本发明涉及具有IDT(InterDigital Transducer；叉指换能器)电极的弹性波装置、具有该弹性波装置的前端电路以及通信装置。

背景技术

以往，作为谐振器、带通滤波器而广泛使用弹性波装置。

作为该弹性波装置的一个例子，在专利文献1公开了通过相互对置的一对端面对弹性波进行反射的端面反射型的弹性波装置。在专利文献1的弹性波装置中，通过在弹性波传播方向上在IDT电极的两个外侧设置槽，从而形成了对置的一对端面。而且，通过使用该一对端面对弹性波进行反射，从而将在弹性波传播方向上传播的弹性波封闭在弹性波装置内。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2005/050836号

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1所示的弹性波装置中，虽然能够将在弹性波传播方向上传播的弹性波反射并封闭，但是不能封闭在与弹性波传播方向不同的方向上传播的弹性波，存在弹性波泄漏到弹性波装置的外部这样的问题。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够抑制在与弹性波传播方向不同的方向上传播的弹性波泄漏到外部的弹性波装置等。

用于解决课题的技术方案

本发明的一个方式涉及的弹性波装置是具备压电基板和设置在压电基板的IDT电极的弹性波装置，IDT电极具有在弹性波传播方向上延伸的汇流条电极和与汇流条电极连接并在弹性波传播方向的正交方向上延伸的多个电极指，压电基板具有沿着弹性波传播方向形成的至少一个以上的槽，在正交方向上从汇流条电极观察，至少一个以上的槽设置在与形成有多个电极指侧相反侧。

像这样，弹性波装置具有沿着弹性波传播方向形成的槽，因此能够使用槽对在与弹性波传播方向不同的方向上传播的弹性波进行反射。由此，能够抑制弹性波泄漏到外部。

此外，也可以是，至少一个以上的槽由多个槽构成，多个槽在正交方向上相互对置。

据此，弹性波装置具有在正交方向上相互对置的多个槽，因此能够使用槽对在与弹性波传播方向不同的方向上传播的弹性波进行反射并将其封闭在多个槽之间。由此，能够抑制弹性波泄漏到外部。

此外，也可以是，压电基板具有支承基板、位于支承基板上的压电层、以及设置在支承基板与压电层之间的中间层，IDT电极设置在压电层上，至少一个以上的槽从压电层形成至到达中间层的至少一部分。

据此，能够使用槽对在压电层以及中间层的至少一部分传播的弹性波进行反射。由此，能够抑制在与弹性波传播方向不同的方向上传播的弹性波泄漏到外部。

此外，也可以是，压电基板具有支承基板、位于支承基板上的压电层、以及设置在支承基板与压电层之间的中间层，IDT电极设置在压电层上，至少一个以上的槽未形成在压电层而形成在中间层的至少一部分。

据此，能够使用槽对在中间层的至少一部分传播的弹性波进行反射。由此，能够抑制在与弹性波传播方向不同的方向上传播的弹性波泄漏到外部。