[发明专利]载置台和电子器件测试装置

权利要求书

1.一种载置台，其特征在于，包括：

用于载置被检查体的冷却机构；和

以隔着该冷却机构与所述被检查体相对的方式配置的光照射机构，

所述冷却机构由透光材料构成，内部供可透光的冷却介质流动，

所述光照射机构包括朝向所述被检查体发光的多个LED，

在进行高温环境下使用的所述被检查体的电气特性测试时，通过部分控制所述多个LED的照射与非照射而向所述被检查体的任意的部位照射所述光，由此，一边将由所述冷却机构载置的所述被检查体整体冷却，一边对所述被检查体的任意的部位进行加热，另一方面，与所要求的被检查体相邻的其他被检查体被所述冷却机构中流动的冷却介质所冷却，

在进行室温环境下使用的所述被检查体的电气特性测试时，通过部分控制所述多个LED的照射与非照射而向所述被检查体的任意的部位照射所述光，由此，一边将由所述冷却机构载置的所述被检查体整体冷却，一边对所述被检查体的任意的部位进行加热，使照向所要求的被检查体的LED光的强度，比进行高温环境下使用的被检查体的电气特性测试时的LED光的强度弱。

2.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述被检查体由配置有多个电子器件的玻璃基片构成。

3.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：

所述被检查体由形成有多个电子器件的半导体晶片构成。

4.如权利要求1～3之任一项所述的载置台，其特征在于：

所述透光材料由聚碳酸酯、石英、聚氯乙烯、丙烯酸酯树脂或玻璃构成。

5.如权利要求1～3中任一项所述的载置台，其特征在于：

各所述LED照射近红外光。

6.如权利要求1所述的载置台，其特征在于：在所述冷却机构中，与所述被检查体相对的部分的整体由所述透光材料构成。

7.一种电子器件测试装置，其用于对配置或形成在被检查体上的电子器件进行检查，所述电子器件测试装置的特征在于，包括：

用于载置所述被检查体的载置台；和

能够与所载置的被检查体的所述电子器件电接触的接触端子，

所述载置台包括：

用于载置被检查体的冷却机构；和

以隔着该冷却机构与所述被检查体相对的方式配置的光照射机构，

所述冷却机构由透光材料构成，内部供可透光的冷却介质流动，

所述光照射机构包括朝向所述被检查体发光的多个LED，

在进行高温环境下使用的所述被检查体的电气特性测试时，通过部分控制所述多个LED的照射与非照射而向所述被检查体的任意的部位照射所述光，由此，一边将由所述冷却机构载置的所述被检查体整体冷却，一边对所述被检查体的任意的部位进行加热，另一方面，与所要求的被检查体相邻的其他被检查体被所述冷却机构中流动的冷却介质所冷却，

在进行室温环境下使用的所述被检查体的电气特性测试时，通过部分控制所述多个LED的照射与非照射而向所述被检查体的任意的部位照射所述光，由此，一边将由所述冷却机构载置的所述被检查体整体冷却，一边对所述被检查体的任意的部位进行加热，使照向所要求的被检查体的LED光的强度，比进行高温环境下使用的被检查体的电气特性测试时的LED光的强度弱。

8.如权利要求7所述的电子器件测试装置，其特征在于：

所述被检查体由配置有多个电子器件的玻璃基片构成，

所述电子器件测试装置还包括测量部，所述测量部用于测量所述电子器件的电位差生成电路的电位差。

9.如权利要求7所述的电子器件测试装置，其特征在于：

所述被检查体由形成有多个电子器件的半导体晶片构成，在各所述电子器件的旁边形成有电位差生成电路，

所述电子器件测试装置还包括用于测量所述电位差生成电路的电位差的测量部。

10.如权利要求8或9所述的电子器件测试装置，其特征在于：

所述电位差生成电路包括二极管、晶体管或电阻。