[发明专利]超纯水制造方法及超纯水制造系统在审
| 申请号： | 201780072434.4 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110291045A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 天谷徹 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/44 | 分类号： | C02F1/44;B01D61/04;B01D61/08;B01D61/46;B01D61/58;C02F1/28;C02F1/469;C02F9/02;C02F9/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反渗透膜装置 超纯水制造系统 超纯水 耐氯性 制造 换算 氧化剂 被处理水 反渗透膜 生物污损 游离氯 游离溴 后段 劣化 | ||
1.一种超纯水制造方法，其特征在于，其是使用了具备2段反渗透膜装置的超纯水制造系统的超纯水制造方法，其中，
作为所述2段反渗透膜装置的前段的反渗透膜装置使用耐氯性反渗透膜装置进行处理，
作为所述2段反渗透膜装置的后段的反渗透膜装置使用非耐氯性反渗透膜装置进行处理，
在所述耐氯性反渗透膜装置中将被处理水中的以Cl换算的游离氯浓度和以Br换算的游离溴浓度合计调节至0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。
2.根据权利要求1所述的超纯水制造方法，其特征在于，在所述2段反渗透膜装置的前段包括使用活性炭装置进行处理的工序，其中，
调节所述活性炭装置中的流速，从而调节所述被处理水中的游离氯浓度和游离溴浓度的合计。
3.根据权利要求2所述的超纯水制造方法，其特征在于，所述活性炭装置中的流速以空间速度计为20h-1～50h-1。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的超纯水制造方法，其特征在于，其包括将所述2段反渗透膜装置的透过水通过电去离子装置进行处理的工序。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的超纯水制造方法，其特征在于，将所述耐氯性反渗透膜装置的透过水中的游离氯浓度和游离溴浓度合计调节至0.005mg/L～0.05mg/L。
6.一种超纯水制造系统，其特征在于，其是具备2段反渗透膜装置的超纯水制造系统，其具备：
耐氯性反渗透膜装置，该耐氯性反渗透膜装置作为所述2段反渗透膜装置的前段的反渗透膜装置发挥功能；
非耐氯性反渗透膜装置，该非耐氯性反渗透膜装置作为所述2段反渗透膜装置的后段的反渗透膜装置发挥功能；和
浓度调节部，该浓度调节部将所述耐氯性反渗透膜装置的被处理水中的以Cl换算的游离氯浓度和以Br换算的游离溴浓度合计调节至0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。
7.根据权利要求6所述的超纯水制造系统，其特征在于，其进一步具备：
活性炭装置，该活性炭装置配设于所述2段反渗透膜装置的前段；和
电去离子装置，该电去离子装置配设于所述2段反渗透膜装置的后段。
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