[发明专利]超纯水制造方法及超纯水制造系统

说明书

本发明的目的是提供能够抑制超纯水制造系统的2段反渗透膜装置中的反渗透膜的因氧化剂而引起的劣化、并且抑制生物污损的产生的超纯水制造方法及超纯水制造系统。上述制造方法是使用了具备2段反渗透膜装置的超纯水制造系统的超纯水制造方法，其中，作为上述2段反渗透膜装置的前段的反渗透膜装置使用耐氯性反渗透膜装置进行处理，作为上述2段反渗透膜装置的后段的反渗透膜装置使用非耐氯性反渗透膜装置进行处理，将上述耐氯性反渗透膜装置的被处理水中的游离氯浓度(Cl换算)和游离溴浓度(Br换算)合计设定为0.01mg/L以上且低于0.1mg/L。

技术领域

本发明涉及超纯水制造方法及超纯水制造系统。

背景技术

以往，在半导体制造工序中使用的超纯水通过包含多个处理工序的超纯水制造系统来制造。超纯水制造系统例如由将原水中的悬浮物质等除去的前处理部、将经前处理部处理的前处理水中的总有机碳(TOC)成分或离子成分使用以串联2段连接的2段反渗透膜装置除去的一次纯水制造部、及将一次纯水制造部中得到的一次纯水中的极微量的杂质除去的二次纯水制造部构成。在超纯水制造系统中，作为原水，使用市水、井水、地下水、工业用水或在使用点(POU)被回收并被处理的使用完的超纯水(回收水)等(例如参照专利文献1、2)。

这里，市水、井水、地下水、工业用水等由于通过次氯酸或次溴酸等氧化剂被杀菌，所以残留在水中的游离氯和游离溴(以下，将游离氯和游离溴总称为“游离氧化剂”)的浓度有时合计超过0.1mg/L。作为一次纯水制造部的反渗透膜装置中使用的反渗透膜，从杂质的除去率高的方面出发，大多使用聚酰胺系的复合膜。然而，若对聚酰胺系的复合膜通水上述原水，则聚酰胺系的复合膜的劣化因残留游离氧化剂而被促进。

就一般的聚酰胺系的反渗透膜而言，用于防止因膜的劣化而产生处理水质的劣化的容许残留游离氧化剂浓度例如有时被设定为0.1mg/L。但是，由于若将以上述容许残留游离氧化剂浓度附近的浓度包含游离氧化剂的原水长时间通水，则会产生反渗透膜的显著劣化，所以在实际的超纯水制造中，要求供给至聚酰胺系的反渗透膜装置的被处理水基本不含残留游离氧化剂。因此，在市水等被用作原水的情况下，原水一般通过设置于一次纯水制造部的最前段的活性炭装置被处理而将原水中的氧化剂吸附除去、或者添加亚硫酸氢钠或焦亚硫酸钠等还原剂而被中和，之后被制成一次纯水制造部的被处理水。

另一方面，作为耐氯性的反渗透膜，三醋酸纤维素系的反渗透膜被用于海水淡水化的技术。该耐氯性的膜不易因氯等氧化剂而产生劣化。但是，例如在使用25℃以上的海水的情况下，变得容易因氯而产生劣化，也提出了减少被处理水中的残留游离氯浓度的方法(例如参照专利文献3)。

通过在超纯水制造系统的反渗透膜装置中使用这样的耐氯性膜，可期待解决因氯而产生的劣化的问题，三醋酸纤维素系的反渗透膜的反渗透膜的重要功能即杂质的除去率低。因此，若将三醋酸纤维素系的反渗透膜作为一次纯水制造部中的反渗透膜装置使用，则有时一次纯水的纯度不充分。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-33976号公报

专利文献2：国际公开第2009/016982号

专利文献3：日本特开平7-171565号公报

发明内容

发明所要解决的课题