[发明专利]非蒸散型吸气剂涂敷部件、容器、制法、装置

权利要求书

1.一种非蒸散型吸气剂涂敷部件，其特征在于，

包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为9mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为12mol％以下的贵金属层，

所述非蒸散型吸气剂涂敷部件示出通过从大气压起进行真空排气，以185℃以下的活化温度进行加热而排出残留气体的性能。

2.根据权利要求1所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件，其特征在于，

包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为1mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为1mol％以下的贵金属层，

所述非蒸散型吸气剂涂敷部件示出通过从大气压起进行真空排气，以133℃以下的活化温度进行加热而排出残留气体的性能。

3.一种非蒸散型吸气剂涂敷容器，其特征在于，

在真空容器的内表面涂敷有碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为9mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或涂敷有碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为12mol％以下的贵金属层，

所述非蒸散型吸气剂涂敷容器示出通过从大气压起进行真空排气，以185℃以下的活化温度进行加热而排出残留气体的性能。

4.根据权利要求3所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器，其特征在于，

在真空容器的内表面涂敷有碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为1mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或涂敷有碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为1mol％以下的贵金属层，

所述非蒸散型吸气剂涂敷容器示出通过从大气压起进行真空排气，以133℃以下的活化温度进行加热而排出残留气体的性能。

5.一种权利要求1或2所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件的制造方法，其特征在于，包含以下工序：

通过在10^-5Pa以下的低压下利用蒸镀法将非蒸散型吸气剂材料和/或贵金属涂敷于基材，从而形成非蒸散型吸气剂材料层和/或贵金属层。

6.一种权利要求3或4所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器的制造方法，其特征在于，包含以下工序：

通过在10^-5Pa以下的低压下利用蒸镀法将非蒸散型吸气剂材料和/或贵金属涂敷于真空容器的内表面，从而形成非蒸散型吸气剂材料层和/或贵金属层。

7.一种权利要求1或2所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件的制造装置，其特征在于，

具有基材、非蒸散型吸气剂材料丝和/或贵金属丝、电流端子。

8.一种权利要求3或4所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器的制造装置，其特征在于，

具有真空容器、非蒸散型吸气剂材料丝和/或贵金属丝、电流端子。

9.一种改善排出残留气体的性能的方法，利用权利要求1或2所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件的贵金属层的催化作用，通过导入氧并加热，去除表面的至少碳、氮、氧的污染，从而改善权利要求1或2所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件的排出残留气体的性能。

10.一种改善排出残留气体的性能的方法，利用权利要求3或4所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器的贵金属层的催化作用，通过导入氧并加热，去除表面的至少碳、氮、氧的污染，从而改善根据权利要求3或4所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器的排出残留气体的性能。

11.一种改善排出残留气体的性能的装置，利用权利要求1或2所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件的贵金属层的催化作用，通过导入氧并加热，去除表面的至少碳、氮、氧的污染，从而改善根据权利要求1或2所述的非蒸散型吸气剂涂敷部件的排出残留气体的性能。

12.一种改善排出残留气体的性能的装置，利用权利要求3或4所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器的贵金属层的催化作用，通过导入氧并加热，去除表面的至少碳、氮、氧的污染，从而改善根据权利要求3或4所述的非蒸散型吸气剂涂敷容器的排出残留气体的性能。