[发明专利]非蒸散型吸气剂涂敷部件、容器、制法、装置

说明书

本发明提供一种非蒸散型吸气剂涂敷部件和容器，其特征在于，包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为20mol％以下的非蒸散型吸气剂材料层，和/或包含碳原子、氮原子、氧原子的吸藏量的合计为20mol％以下的贵金属层。还提供一种非蒸散型吸气剂涂敷部件及容器的制造方法，其特征在于，包含通过在低压下利用蒸镀法将非蒸散型吸气剂材料和/或贵金属涂敷而形成非蒸散型吸气剂材料层和/或贵金属层的工序。还提供一种NEG涂敷部件和容器的制造装置，其特征在于，具有NEG材料丝和/或贵金属丝、以及电流端子。

技术领域

本发明涉及非蒸散型吸气剂(以下称为“NEG”)涂敷部件及容器、它们的制造方法及制造装置。

背景技术

在真空科学技术的领域中，作为能源消耗量少、能够在较宽的压力范围内排气的真空泵，具有非蒸散型吸气剂(NEG)的NEG泵受到关注。NEG泵是如下的真空泵：通过在真空中加热而将NEG表面进行净化，并使在连接有非蒸散型吸气剂泵的真空装置内部残留的气体吸附，由此从真空装置进行排气。

到目前为止，已经进行了如下研究：通过在真空容器的容器主体的内表面涂敷NEG材料、通常为钛(Ti)、锆(Zr)、钒(V)、铪(Hf)、铌(Nb)、钽(Ta)以及它们的合金(以下，也称为“Ti等NEG材料”)，从而使真空容器的整个内表面成为NEG泵(参照非专利文献1)。在Ti等NEG材料中，特别是Ti、Zr和Hf由于在200℃左右的较低温度下能够活化，所以是优选的。然而，这些NEG材料存在以下问题：当反复进行排气、活化和恢复到大气压的工序(将其称为“大气压通气(atmospheric pressure vent)”)时，排气能力(NEG性能)显著降低(非专利文献2)。因此，近年来，作为难以产生这样的NEG性能降低的涂敷法，在涂敷了Ti等NEG材料的基础上涂敷Pd等贵金属(钯(Pd)、金(Au)、银(Ag)、铂(Pt)、铑(Rh)、铱(Ir)、钌(Ru)、锇(Os)以及它们的合金)(以下，也称为“Pd等贵金属”。)的方法受到关注(参照非专利文献3)。在Pd等贵金属中，特别是Pd由于具有在表面将氢分子分解成氢原子并使氢原子扩散到固体内部的功能，所以是优选的。此外，由于Pd等贵金属具有催化作用，所以即使其表面被碳、氮、氧等污染，如果导入微量的氧并进行加热，则能够再现洁净的表面，因此难以产生NEG性能的降低。此外，由于在室温下水(H₂O)不吸附在Pd等贵金属的表面，因此还具有能够在短时间内将H₂O排出的优点。对于这些NEG材料和Pd等贵金属的涂敷，以往使用了溅射法(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4451498号公报。

非专利文献

非专利文献1：C.Benvenuti et al.，Vacuum 50(1998)57。

非专利文献2：C.Benvenuti et al.，Vacuum 60(2001)57。

非专利文献3：C.Benvenuti et al.，Vacuum 73(2004)139。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在将溅射法用于Ti等NEG材料、Pd等贵金属的成膜的以往的NEG涂敷部件、NEG涂敷容器中，存在成本高、NEG材料层和贵金属层容易被氧等污染、难以进行内径小的(例如，内径为10mm以下的)真空管道的涂敷、Ti等NEG材料的活化的温度变高(例如，在Ti的情况下为200℃以上)(参照非专利文献2)等这样的问题。

因此，本发明的目的在于以低成本制造一种不易产生排气能力(NEG性能)的降低、也能够应用于内径更小的容器、NEG活化温度更低的NEG涂敷部件和容器、以及该部件和容器的制造方法及制造装置。

用于解决课题的方案