[发明专利]成膜装置、使用该成膜装置的成膜物的制造方法以及冷却板

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于包括：

成膜腔室；

基材支撑部，在所述成膜腔室的内部支撑基材；

至少一个靶材，具有与所述基材支撑部支撑的所述基材相向的相向面；

至少一个冷却板；

多个靶材保持部，分别将所述靶材以使该靶材的相向面与所述基材相向的方式装拆自如地保持或者将所述冷却板装拆自如地保持；以及

冷却部，冷却所述多个靶材保持部，其中，

所述至少一个冷却板具有：

被保持部，呈能够装拆自如地保持在所述靶材保持部的形状；以及

受热部，具有受热面，该受热面在所述被保持部被所述靶材保持部保持的状态下与所述基材相向且接收从该基材释放出的辐射热，

所述被保持部进行从所述受热面向所述靶材保持部的传热，

所述多个靶材保持部的每一个择一地保持所述靶材或所述冷却板的所述被保持部，使得所述靶材的所述相向面与所述基材相向或所述冷却板的所述受热面与所述基材相向。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述受热面具有比所述靶材保持部的基材相向部分亦即与所述基材相向的部分的面积大的面积。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述冷却部具有将冷却所述靶材保持部的制冷剂连续地供应到该靶材保持部的结构，

在所述靶材保持部的内部形成有容许让被供应到该靶材保持部的所述制冷剂通过的制冷剂通道。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述冷却板的所述被保持部具有朝向与所述受热面的法线方向不同的方向突出的凸部，

所述靶材保持部具有：形成有所述制冷剂通道的主体部；以及与所述凸部卡合，并将所述被保持部以推压于所述主体部的状态固定于该主体部的固定部。

5.一种成膜物的制造方法，其特征在于，利用从靶材释放出的粒子对基材的表面进行成膜，其特征在于包括以下步骤：

准备步骤，准备权利要求1至4中任一项所述的成膜装置；

选定步骤，从所述成膜装置的多个靶材保持部中选定至少一个第一靶材保持部以及至少一个第二靶材保持部，并让所述第一靶材保持部保持所述靶材使得该靶材的所述相向面与所述基材相向，且让所述第二靶材保持部保持所述冷却板使得该冷却板的所述受热面与所述基材相向；以及

成膜步骤，利用从保持在所述第一靶材保持部的所述靶材的所述相向面释放出的成膜材料的粒子对所述基材的表面进行成膜，并且，利用所述冷却部并通过所述第二靶材保持部冷却保持在该第二靶材保持部的所述冷却板且利用该冷却板吸收从所述基材释放出的辐射热。

6.一种冷却板，其特征在于，以装拆自如的方式与靶材择一地被保持在成膜装置中的靶材保持部，所述成膜装置包括：成膜腔室；在所述成膜腔室的内部支撑基材的基材支撑部；具有与所述基材相向的相向面的至少一个所述靶材；分别将所述靶材装拆自如地保持的多个所述靶材保持部；以及冷却多个所述靶材保持部的冷却部，所述冷却板包括：

被保持部，呈能够装拆自如地保持在所述靶材保持部的形状；以及

受热部，具有受热面，该受热面在所述被保持部被所述靶材保持部保持的状态下与所述基材相向且接收从该基材释放出的辐射热，其中，

所述被保持部以将所述受热面接收的所述辐射热传递至保持该被保持部的所述靶材保持部且将所述受热面与所述基材相向的方式，被保持在所述靶材保持部。