[发明专利]成膜装置、使用该成膜装置的成膜物的制造方法以及冷却板

说明书

本发明提供一种具有简单且小型的结构的成膜装置(1)。成膜装置(1)包括：具有与基材(W)相向的相向面的至少一个靶材(4)；分别将所述靶材(4)装拆自如地保持的多个靶材保持部(5)；冷却所述多个靶材保持部(5)的冷却部(6)；以及至少一个冷却板(7)。所述至少一个冷却板(7)具有：装拆自如地保持在靶材保持部(5)的被保持部(7d)；以及具有受热面(7e)的受热部(7b)，其中，该受热面(7e)在该被保持部(7d)被保持在所述靶材保持部(5)的状态下与基材(W)相向且接收从该基材(W)释放出的辐射热。所述被保持部(7d)进行从所述受热面(7e)向所述靶材保持部(5)的传热。各靶材保持部(5)择一地保持所述靶材(4)或所述冷却板(7)。

技术领域

本发明涉及一种具备冷却板的成膜装置。

背景技术

已知通过溅射或电弧放电对基材表面进行成膜的成膜装置。在此种成膜装置中，在成 膜工序，因电弧放电等而靶材变成高温而有可能熔融。对此，该成膜装置一般具备在成膜 过程中冷却靶材的冷却机构。

另一方面，在成膜过程中基材也变成高温。这是因为，当从靶材飞出的高能量的成膜 材料的粒子附着于基材的表面时，所述基材从该粒子接收热能。如此地如果基材的温度变 成高温，则根据成膜材料的种类(例如碳等)不同，形成在基材表面的膜的硬度有可能下降。此外，因基材的温度上升，有可能该基材的硬度下降或该基材发生形变。

对此，以往提出了各种除了具备冷却靶材的冷却机构以外，还具备在成膜工序冷却基 材的专用的冷却机构的成膜装置。

例如，专利文献1记载的成膜装置具备设置在真空腔室内的水冷式的冷却板。该冷却 板在成膜工序中吸收从真空腔室内部的基材释放出的辐射热。

所述冷却板具有冷却水通过的传热管以及从两侧夹住该传热管的金属制的一对传热 板。该传热管经由贯穿真空腔室的壁的联络管连接于外部的泵等。该冷却板利用从真空腔 室的外部连续地被供应的冷却水被冷却，从而能够进行基材的冷却。

但是，所述的成膜装置除了冷却靶材的冷却机构以外，还需要冷却基材的专用的冷却 机构。也就是说，需要互不相同的多个冷却机构。这导致成膜装置的结构复杂且大型化。 此外，所述冷却板不能容易地从真空腔室装拆。这导致该冷却板的清扫等维修非常困难。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2006-291308号

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有简单且小型的结构，且具备能够容易装拆的冷却板的 成膜装置。

本发明人着眼于在成膜装置中将靶材能够装拆地保持并冷却靶材的靶材保持部。具体 而言，想到了在靶材保持部安装具有代替所述靶材而接收来自基材的辐射热的受热面的冷 却板的技术方案。这能够利用该靶材保持部保持并冷却接收该辐射热的冷却板，据此，能 够间接地冷却基材。

具体而言，所提供的是一种成膜装置，其包括：成膜腔室；基材支撑部，在所述成膜腔室的内部支撑基材；至少一个靶材，具有与所述基材支撑部支撑的所述基材相向的相向面；多个靶材保持部，分别将所述靶材以使该靶材的相向面与所述基材相向的方式装拆自如地保持；冷却部，冷却所述多个靶材保持部；以及至少一个冷却板。所述至少一个冷却 板具有：被保持部，呈能够装拆自如地保持在所述靶材保持部的形状；以及受热部，具有 受热面，该受热面在所述被保持部被所述靶材保持部保持的状态下与所述基材相向且接收 从该基材释放出的辐射热。所述被保持部进行从所述受热面向所述靶材保持部的传热。所 述多个靶材保持部的每一个择一地保持所述靶材或所述冷却板的所述被保持部。

附图说明

图1是概略地表示具备本发明的实施方式所涉及的冷却板的成膜装置的整体结构的立 体图。

图2是图1的成膜装置的剖面俯视图。