[发明专利]清洗单元

权利要求书

1.一种清洗单元，其特征在于，具备：

清洗装置；及

清洗药液供给装置，该清洗药液供给装置与所述清洗装置连接，用于将清洗用的药液供给至所述清洗装置，

所述清洗药液供给装置具备：

药液入口部及稀释水入口部；

第一药液控制部，该第一药液控制部流体地连接于所述药液入口部及所述稀释水入口部；及

第二药液控制部，该第二药液控制部流体地连接于所述药液入口部及所述稀释水入口部；

所述第一药液控制部具有：

第一药液流量控制部，该第一药液流量控制部以从所述药液入口部接受药液的供给，并控制所述药液的流量的方式构成；

第一稀释水流量控制部，该第一稀释水流量控制部以从所述稀释水入口部接受稀释水的供给，并控制所述稀释水的流量的方式构成；及

第一混合部，该第一混合部将来自所述第一药液流量控制部及所述第一稀释水流量控制部的所述药液及所述稀释水进行混合；

所述第二药液控制部具有：

第二药液流量控制部，该第二药液流量控制部以从所述药液入口部接受所述药液的供给，并控制所述药液的流量的方式构成；

第二稀释水流量控制部，该第二稀释水流量控制部以从所述稀释水入口部接受所述稀释水的供给，并控制所述稀释水的流量的方式构成；及

第二混合部，该第二混合部将来自所述第二药液流量控制部及所述第二稀释水流量控制部的所述药液及所述稀释水进行混合，

所述第一药液控制部及所述第二药液控制部以将稀释后的所述药液分别供给至设置于所述清洗装置中的相同基板的第一面及第二面的方式构成。

2.如权利要求1所述的清洗单元，其特征在于，

所述第一药液流量控制部、所述第二药液流量控制部、所述第一稀释水流量控制部及所述第二稀释水流量控制部分别具有：

流量计，该流量计用于检测所述药液或所述稀释水的流量；及

流量控制阀，该流量控制阀根据所述流量计的检测值，反馈控制所述药液或所述稀释水的流量。

3.如权利要求2所述的清洗单元，其特征在于，

所述第一药液流量控制部、所述第二药液流量控制部、所述第一稀释水流量控制部及所述第二稀释水流量控制部的至少一个，具有超声波流量计作为所述流量计。

4.如权利要求2或3所述的清洗单元，其特征在于，

对于所述第一药液流量控制部、所述第二药液流量控制部、所述第一稀释水流量控制部及所述第二稀释水流量控制部的至少一个，所述流量控制阀是通过马达来变更开度的马达阀。

5.如权利要求1-3中任一项所述的清洗单元，其特征在于，

所述第一药液控制部在所述第一混合部的下游侧进一步具备回吸阀单元。

6.如权利要求1-3中任一项所述的清洗单元，其特征在于，

所述第二药液控制部进一步以将稀释后的所述药液供给至在所述清洗装置内等待清洗的基板的方式构成。