[发明专利]具有改进的频率性能的测试头

说明书

一种测试头(20)，适合于校验集成在半导体晶片上的待测试器件的操作，包括至少一个引导件(40，41，42)，所述至少一个引导件(40，41，42)设有适合于容纳多个接触元件(21’，21”，21”’)的多个引导孔(40h，41h，42h)，每个接触元件(21’，21”，21”’)都包括在第一端部部分(24)和第二端部部分(25)之间延伸的主体(21pr，21pp)。有利地，至少一个引导件(40，41，42)包括至少一个导电部分(30’，30”，30”’)，至少一个导电部分(30’，30”，30”’)包括多个引导孔(40h，41h，42h)的至少一组孔(40’，40”，40”’；41’，41”，41”’；42’，42”，42”’)并且将这些孔彼此电连接，并且易于与接触元件(21’，21”，21”’)的对应组接触，所述对应组的接触元件(21’，21”，21”’)适合于携带相同类型的信号。

技术领域

本发明涉及一种用于测试集成在半导体衬底上的电子器件的测试头。更具体地，本发明设计一种测试头，该测试头包括至少一个引导件，该引导件具有多个适用于容纳多个接触元件的引导孔，并且以下描述是参考本申请的领域进行的，其唯一目的在于简化说明。

现有技术

如广泛已知的，测试头(探头)本质上为适用于使微结构(诸如集成在晶片上的电子器件)的多个接触垫与执行工作测试(尤其是电子测试，或一般测试)的测试机器的对应通道电接触。

在集成器件上执行的测试对于在制造步骤中检测和分隔有缺陷的器件是尤其有用的。通常，测试头因此被用于在切割并将它们组装在包括封装的芯片内部之前对集成在晶片上的器件进行电子测试。

通常，测试头包括由至少一个引导件或至少一对引导件(或支撑件)约束的多个接触元件或接触探针，这对引导件(或支撑件)基本上为板状并且彼此平行。这些引导件包括适合的孔并且彼此以确定距离设置，从而留下用于接触探针的移动和可能的变形的自由空间或空隙，这些接触探针可滑动地容纳在这些引导孔中。这对引导件具体包括上引导件和下引导件，上引导件和下引导件都包括对应的多个引导孔，在这些引导孔中接触探针轴向滑动，探针通常由具有良好电学和机械性能的特殊合金线制成。

接触探针和待测试器件的接触垫之间的良好连接是由在器件本身上按压测试头来保证的，在按压接触期间，接触探针在引导件之间的空隙内部经历弯曲并且在对应的引导孔内部滑动。这种类型的测试头通常叫做“竖直探针头”。

如图1中示意性示出的，实质上，竖直探针测试头具有间隙，在该间隙中发生接触探针的弯曲，可能由探针本身或其引导件适合的构造来辅助该弯曲。

具体地，图1示意性地示出了测试头1，测试头1包括被间隙13分隔的至少一个上引导件2(通常表示为“上模”)以及下引导件(通常表示为“下模”)，至少一个上引导件2和下引导件分别具有多个引导孔4和引导孔5，多个接触探针6在这些引导孔中滑动，出于简化的目的，在图1中仅示出了多个接触探针中的一个探针。

每个接触探针6在一端的终止处具有接触尖端7，接触尖端7适合于抵靠集成在晶片9上的待测器件的接触垫8，以在待测器件和测试设备(未示出)之间实施机械和电学接触，其中这样的测试头为测试设备的终端元件。

在此和下文中，术语“接触尖端”表示适合于接触待测试的器件的接触垫的接触探针的端部区域或端部部分，这样的端部区域或端部部分不必是尖锐的。

在一些情况中，接触探针在上引导件处固定至测试头：在这样的情况中，测试头被称作“受阻探针测试头”。

然而，更加常见是使用具有未固定的探针的测试头，这些探针可能通过微接触板的方式与板接合：这些测试头称作“非受阻探针测试头”。微接触板通常叫做“空间转换器”，这是由于除了接触探针之外，微接触板还允许对在其上制造的接触垫相对于待测试器件的接触垫在空间上重新分布，特别是放宽垫本身的中心之间的距离约束。