[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置有效
申请号: | 201780077270.4 | 申请日: | 2017-11-09 |
公开(公告)号: | CN110073596B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 奥永洋梦 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/72 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 高频 前端 电路 以及 通信 | ||
1.一种弹性波装置,具备:
压电体;和
IDT电极,设置在所述压电体上,
所述IDT电极具有相互对置的第一汇流条以及第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指、和一端与所述第二汇流条连接且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指,并且,所述IDT电极具有所述第一电极指和所述第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的交叉区域、和第一高声速区域以及第二高声速区域,
所述交叉区域具有:中央区域,位于与弹性波传播方向正交的方向的中央侧;和第一低声速区域以及第二低声速区域,配置在所述中央区域的与弹性波传播方向正交的方向的两侧,且声速与所述中央区域相比为低速,
所述第一高声速区域是位于所述第一汇流条与所述第一低声速区域之间且声速与所述中央区域相比为高速的区域,
所述第二高声速区域是位于所述第二汇流条与所述第二低声速区域之间且声速与所述中央区域相比为高速的区域,
在所述多个第一电极指以及所述多个第二电极指中的位于所述第一低声速区域以及所述第二低声速区域的部分分别层叠有质量附加膜,
将各所述第一电极指延伸的方向设为各第一长度方向,将各所述第二电极指延伸的方向设为各第二长度方向,此时,各所述质量附加膜具有:中央部,位于各所述第一长度方向或各所述第二长度方向上的中央;和第一端部以及第二端部,位于各所述第一长度方向或各所述第二长度方向上的两端,
在将所述质量附加膜的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时,在至少一个所述质量附加膜中,所述第一端部的宽度以及所述第二端部的宽度比所述中央部的宽度窄,且至少一个所述质量附加膜具有从所述第一端部以及所述第二端部中的至少一者向与所述压电体侧相反侧突出的突出部。
2.一种弹性波装置,具备:
压电体;和
IDT电极,设置在所述压电体上,
所述IDT电极具有相互对置的第一汇流条以及第二汇流条、一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指、和一端与所述第二汇流条连接且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指,并且,所述IDT电极具有所述第一电极指和所述第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的交叉区域、第一高声速区域和第二高声速区域,
所述交叉区域具有:中央区域,位于与弹性波传播方向正交的方向的中央侧;和第一低声速区域以及第二低声速区域,配置在所述中央区域的与弹性波传播方向正交的方向的两侧,且声速与所述中央区域相比为低速,
所述第一高声速区域是位于所述第一汇流条与所述第一低声速区域之间且声速与所述中央区域相比为高速的区域,
所述第二高声速区域是位于所述第二汇流条与所述第二低声速区域之间且声速与所述中央区域相比为高速的区域,
在所述多个第一电极指以及所述多个第二电极指中的位于所述第一低声速区域以及所述第二低声速区域的部分分别层叠有质量附加膜,
将各所述第一电极指延伸的方向设为各第一长度方向,将各所述第二电极指延伸的方向设为各第二长度方向,此时,各所述质量附加膜具有:中央部,位于各所述第一长度方向或各所述第二长度方向上的中央;第一端部以及第二端部,位于各所述第一长度方向或各所述第二长度方向上的两端;第一端面,是位于所述第一端部的端面;和第二端面,是位于所述第二端部的端面,
至少一个所述质量附加膜的所述第一端面和所述第二端面相对于所述质量附加膜的厚度方向倾斜地延伸,且至少一个所述质量附加膜具有从所述第一端部以及所述第二端部中的至少一者向与所述压电体侧相反侧突出的突出部。
3.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,
在将相对于所述质量附加膜的厚度方向倾斜的角度设为倾斜角度时,所述突出部的倾斜角度小于位于所述第一端部以及所述第二端部中的突出有所述突出部的端部的端面的倾斜角度。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的弹性波装置,其中,
全部的所述质量附加膜具有所述突出部。
5.根据权利要求1~3中的任一项所述的弹性波装置,其中,
所述突出部设置在所述质量附加膜中的所述第一端部以及所述第二端部的双方。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所,未经株式会社村田制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780077270.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:混合玻璃上无源(POG)声学滤波器
- 下一篇:BAW谐振器和谐振器布置