[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

说明书

本发明提供一种能够使声速不同的区域间的边界的声速梯度陡峭并能够有效地抑制无用波的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有交叉区域。交叉区域具有中央区域和配置在与弹性波传播方向正交的方向两侧的第一、第二低声速区域。在第一、第二低声速区域的外侧设置有第一、第二高声速区域。在多个第一、第二电极指(3a2，3b2)的位于第一、第二低声速区域的部分分别层叠有质量附加膜(6)。在至少一个质量附加膜(6)中，第一端部(6b)的宽度以及第二端部(6c)的宽度比中央部(6a)的宽度窄，且上述质量附加膜(6)具有从第一、第二端部(6b，6c)中的至少一者突出的突出部。

技术领域

本发明涉及利用了活塞模式的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

背景技术

以往，为了抑制无用波，提出了利用了活塞模式的弹性波装置。

例如，在下述的专利文献1示出了利用了活塞模式的弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有设置在压电基板上的IDT电极。IDT电极具有：在电极指延伸的方向上位于中央的中央激励区域、和与中央激励区域的电极指延伸的方向两侧相邻的内缘区域。进而，IDT电极具有与内缘区域的外侧相邻的外缘区域。

在内缘区域中，在电极指上层叠由电介顾或金属构成的顾量附加膜，或者增大内缘区域中的电极指的宽度。由此，内缘区域中的声速与中央激励区域以及外缘区域中的声速相比成为低速。像这样，内缘区域是低声速区域。外缘区域是声速与中央激励区域相比为高速的高声速区域。通过依次配置中央激励区域、低声速区域以及高声速区域，从而限制弹性波的能量，且抑制了无用波。

关于层叠上述的质量附加膜的方法，因为层叠厚度没有设计上的上限，所以能够附加大的质量。因而，具有器件的设计自由度高这样的优点。因此，在内缘区域中层叠质量附加膜的技术受到瞩目。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-518455号公报

发明内容

发明要解决的课题

在活塞模式中，虽然在中央激励区域中激发的横模波被抵消，但是在低声速区域中激发的横模波不被抵消而残留，会成为无用波。因此，一般来说，希望低声速区域的宽度窄。但是，在低声速区域和与低声速区域相邻的声速区域之间的边界处的声速梯度平缓的情况下，为了附加同等的质量，宽度会变宽，会新产生无用波。因此，希望在与相邻的声速区域之间的边界处声速梯度是陡峭的。

具体地，在俯视时电极指的低声速区域中的形状为矩形的情况下，希望质量附加膜的平面形状理想地是矩形。

此外，希望沿着第一电极指以及第二电极指延伸的方向的剖面形状理想地是矩形。

然而，实际上，难以将第一电极指以及第二电极指做成为这样的形状。例如，即使使用光刻法，由于衍射光、反射光等的影响，图案端的形状忠实性也会劣化，质量附加膜的平面形状的角部容易成为曲线状。

进而，在剥离法、蚀刻等加工方法中，质量附加膜的剖面形状容易成为下底相对于上底长的大致梯形。因此，两端面相对于厚度方向容易倾斜。因而，具有低声速区域与高声速区域之间的声速梯度、低声速区域与中央激励区域之间的声速梯度变得平缓的倾向，有时不能充分地抑制无用波。

本发明的目的在于，提供一种能够使声速不同的区域间的边界的声速梯度陡峭并能够有效地抑制无用波的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

用于解决课题的技术方案