[发明专利]压印设备

说明书

一种压印设备包括具有在其中限定的多于一个的纳米特征的硅母体。抗粘层涂覆硅母体，该抗粘层包括具有环硅氧烷的分子，该环硅氧烷具有至少一个硅烷官能团。一种方法包括通过以下来形成母体模板：在硅母体上沉积制剂，该硅母体包括在其中限定的多于一个的纳米特征，该制剂包含溶剂和具有环硅氧烷的分子，该环硅氧烷具有至少一个硅烷官能团；以及固化该制剂，从而在硅母体上形成抗粘层，该抗粘层包含所述分子。所述方法还包括在母体模板的抗粘层上沉积硅基工作印模材料；固化所述硅基工作印模材料以形成包括该多于一个的纳米特征的复制阴模的工作印模；以及从母体模板中释放所述工作印模。

相关申请的交叉引用

本申请要求2016年12月22日提交的美国临时申请序号62/438,237的权益，该美国临时申请的内容通过引用以其整体并入本文。

背景

纳米压印技术(nano-imprinting technology)能够实现纳米结构的经济且有效的生产。纳米压花平版印刷术(nano-embossing lithography)通过具有纳米结构的印模(stamp)利用抗蚀剂材料的直接机械变形，随后通过蚀刻工艺将纳米结构从印模转移至基底。

流动池(flow cell)是允许流体流过基底内的通道或井(well)的装置。可用于核酸分析方法中的图案化的流动池包括在惰性隙间区域(interstitial region)内活性表面的离散井。这样的图案化的流动池可用于生物阵列。

生物阵列是用于检测和分析包括脱氧核糖核酸(DNA)和核糖核酸(RNA)的分子的多种工具之一。在这些应用中，阵列被设计成包括用于在人类和其他生物体的基因中存在的核苷酸序列的探针。例如，在某些应用中，单独的DNA和RNA探针可以被附接在阵列支撑物上的几何网格(geometric grid)中(或随机)的小位置。例如来自已知的人或生物体的测试样品可以暴露于网格，使得互补片段在阵列中的单独的位点与探针杂交(hybridize)。然后可以通过扫描位点上特定频率的光来检查阵列，以通过片段杂交的位点的荧光来识别在样品中存在哪些片段。

生物阵列可以用于基因测序。通常，基因测序涉及确定一段基因材料例如一段DNA或RNA的片段中核苷酸或核酸的顺序。越来越长的碱基对序列正在被分析，并且所得到的序列信息可以用于各种生物信息学方法中，以将片段逻辑地装配(logically fit)在一起，以便可靠地确定片段所衍生自的广泛长度的基因材料的序列。已经开发了自动化的基于计算机的特征片段的检查，并且已经被用于基因组作图、基因及其功能的识别、某些状况和疾病状态的风险评估等。除了这些应用之外，生物阵列可以用于检测和评估宽范围的分子、分子家族、基因表达水平、单核苷酸多态性和基因分型。

概述

压印设备的实例包括具有在其中限定的多于一个的纳米特征(nanofeature)的硅母体(silicon master)。示例性的抗粘层(anti-stick layer)涂覆硅母体，该抗粘层包括具有环硅氧烷的分子，该环硅氧烷具有至少一个硅烷官能团。

方法的实例包括通过以下来形成母体模板：在硅母体上沉积制剂，所述硅母体包括在其中限定的多于一个的纳米特征，所述制剂包含溶剂和具有环硅氧烷的分子，所述环硅氧烷具有至少一个硅烷官能团；以及固化所述制剂，从而在硅母体上形成抗粘层，所述抗粘层包含所述分子。所述方法还包括在母体模板的抗粘层上沉积硅基工作印模材料；固化所述硅基工作印模材料以形成包括所述多于一个的纳米特征的复制阴模(negativereplica)的工作印模；以及从所述母体模板中释放所述工作印模。

附图简述

通过参考以下详细描述和附图，本公开内容的实例的特征和优点将变得明显，在附图中，相似的参考数字对应于相似的但可能不相同的部件。为了简洁起见，具有前述功能的参考数字或特征可以结合或可以不结合其中它们出现的其他附图来描述。

图1是示例性的硅主晶片(silicon master wafer)的顶视图；