[发明专利]摄像面板及其制造方法

权利要求书

1.一种摄像面板，基于从经过了被摄体的X射线得到的闪烁光生成图像，上述摄像面板的特征在于，

具有基板，并且

在上述基板上具有有源区域和端子区域，

上述有源区域具备：

薄膜晶体管，其形成于上述基板上；

第1绝缘膜，其设置于上述薄膜晶体管之上；

光电转换元件，其设置于上述第1绝缘膜之上，包含具有第1导电型的第1半导体层、本征非晶质半导体层、以及具有与上述第1导电型相反的第2导电型的第2半导体层作为将上述闪烁光转换为电荷的光电转换层；

第2绝缘膜，其分开配置于上述光电转换元件的上层，具有接触孔；以及

导电膜，其经由上述接触孔与上述光电转换元件连接，

上述端子区域具备用于将上述有源区域的配线连接到外部电路的端子，

上述端子具备：

第1导电层，其设置于上述基板上，包括与上述薄膜晶体管的栅极电极或源极电极相同的材料；

端子用第1绝缘膜，其包括与上述第1绝缘膜相同的材料，在上述第1导电层的一部分之上分离开设置，具有开口；

端子用半导体层，其设置于上述端子用第1绝缘膜之上，包括与上述光电转换层的至少一部分半导体层相同的材料；以及

第2导电层，其包括与上述导电膜相同的材料，以在上述开口中与上述第1导电层接触的方式设置于上述端子用半导体层之上。

2.根据权利要求1所述的摄像面板，

上述光电转换元件具有：下部电极，其设置于上述光电转换层之下；以及上部电极，其设置于上述光电转换层之上，

上述导电膜与上述上部电极连接，

上述端子区域的上述端子还具备上部电极层，上述上部电极层设置于上述端子用半导体层之上，包括和与上述第2导电层接触的上述上部电极相同的材料。

3.根据权利要求2所述的摄像面板，

上述端子区域的上述端子还具备下部电极层，上述下部电极层包括与上述下部电极相同的材料，设置于上述端子用半导体层之下，在上述开口中与上述第1导电层和上述第2导电层接触。

4.根据权利要求2或3所述的摄像面板，

上述上部电极层的侧端部配置于比上述半导体层的侧端部靠内侧的位置。

5.根据权利要求4所述的摄像面板，

上述半导体层具有上述半导体层的底部比上述半导体层的上部靠外侧配置的锥形形状。

6.根据权利要求1至3、5中的任意一项所述的摄像面板，

上述有源区域还具备第3绝缘膜，上述第3绝缘膜设置于上述第2绝缘膜之上，覆盖上述导电膜，

上述端子区域的上述端子还具备端子用第2绝缘膜，上述端子用第2绝缘膜包括与上述第3绝缘膜相同的材料，在除上述开口以外的区域中，至少覆盖上述端子用第1绝缘膜和上述端子用半导体层的一部分。

7.一种摄像面板的制造方法，是基于从经过了被摄体的X射线得到的闪烁光生成图像的摄像面板的制造方法，其特征在于，通过进行如下工序：

在基板上的有源区域形成薄膜晶体管，并且在上述基板上的端子区域形成包括与上述薄膜晶体管的栅极电极或源极电极相同的材料的第1导电层；

在上述薄膜晶体管之上形成第1绝缘膜，并且形成端子用第1绝缘膜，上述端子用第1绝缘膜包括与上述第1绝缘膜相同的材料，以具有开口的方式配置于上述第1导电层之上；

在上述薄膜晶体管的漏极电极之上形成贯通上述第1绝缘膜的第1接触孔，在上述第1绝缘膜之上形成经由上述第1接触孔与上述漏极电极连接的下部电极；

在上述下部电极之上形成光电转换层并在上述光电转换层之上形成上部电极，并且形成端子用半导体层，上述光电转换层包括具有第1导电型的第1半导体层、本征非晶质半导体层、以及具有与上述第1导电型相反的第2导电型的第2半导体层，上述端子用半导体层在上述端子用第1绝缘膜之上配置于除上述开口以外的区域，包括与上述光电转换层中的至少一部分半导体层相同的材料；

在上述上部电极和上述端子用半导体层之上形成第2绝缘膜，并形成树脂层，上述树脂层形成于上述有源区域中的上述第2绝缘膜之上，在上述上部电极之上具有开口；

以上述有源区域中的上述树脂层为掩模，在上述树脂层的设置有开口的位置形成贯通上述第2绝缘膜的第2接触孔，并且将设置于上述端子用半导体层之上的上述第2绝缘膜除去；以及

在上述有源区域中的上述树脂层之上，形成经由上述第2接触孔与上述上部电极连接的导电膜，并且形成第2导电膜，上述第2导电膜包括与上述导电膜相同的材料，以在上述开口中与上述第1导电膜接触的方式设置于上述端子用半导体层之上，

由此，在上述端子区域形成用于将上述有源区域的配线连接到外部电路的端子，上述端子具有上述第1导电层、上述端子用第1绝缘膜、上述端子用半导体层以及上述第2导电层。