[发明专利]气体检测装置和气体检测方法有效
申请号: | 201780082478.5 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN110178022B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 古冈谦一;大森亚希子 | 申请(专利权)人: | 费加罗技研株式会社 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 宋晓宝;陈林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 检测 装置 方法 | ||
本发明涉及一种气体检测装置和气体检测方法。将气体传感器及其驱动电路组装于便携式电子设备,将气体传感器间歇地向工作温度加热并检测气体,并且,除此以外放置于周围温度。当便携式电子设备的传感器检测到便携式电子设备被放置于封闭场所时,停止针对金属氧化物半导体向工作温度的加热。当传感器检测到便携式电子设备已从封闭场所被取出时,重新开始针对金属氧化物半导体向工作温度的加热。防止气体传感器被硅氧烷等污染。
技术领域
本发明涉及一种气体检测装置和气体检测方法。
背景技术
发明人等提出了要防止MEMS(micro electro mechanical systems)气体传感器的污染的方案(专利文献1JP5748211)。例如,通过将MEMS气体传感器以30秒钟为周期来驱动,在0.4秒内加热至100℃,从而使乙醇、硅氧烷气体等污染物质从气体传感器蒸发。接着,将气体传感器加热到500℃左右,来检测甲烷。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP5748211
发明内容
发明要解决的课题
如果将气体传感器组装于智能手机等便携式电子设备,则存在气体传感器被放置于包、手提包、口袋、抽屉等的情况。在这些封闭的空间中,换气不充分。而且,从用于便携式电子设备外壳的硅橡胶、手提包、抽屉内的化妆品所含有的硅化合物、其他的小物品等,产生硅氧烷气体。MEMS气体传感器在这些封闭的空间中,受到硅氧烷气体带来的污染,降低了气体传感器对气体的响应大小和响应速度。
本发明的课题是,防止组装于便携式电子设备的MEMS气体传感器受到污染。
解决课题的技术方案
本发明的气体检测装置,包括:
MEMS气体传感器,具有电阻值因气体而变化的金属氧化物半导体的膜和加热器;以及
驱动电路,通过间歇地向加热器施加电力,来间歇地将金属氧化物半导体加热到工作温度的,并且,对工作温度下金属氧化物半导体的电阻值进行取样,
该气体检测装置特征在于,
该气体检测装置构成为组装于便携式电子设备,并且,
当通过便携式电子设备的传感器检测出便携式电子设备被放置于封闭场所时,驱动电路停止针对金属氧化物半导体向工作温度的加热,
当通过便携式电子设备的传感器检测出便携式电子设备已从封闭场所被取出时,驱动电路重新开始针对金属氧化物半导体向工作温度的加热。
本发明的气体检测方法中,使用具有电阻值因气体而变化的金属氧化物半导体的膜和加热器的MEMS气体传感器,
通过气体检测装置的驱动电路间歇地向加热器施加电力,来间歇地将金属氧化物半导体加热到工作温度,并且,对工作温度下的金属氧化物半导体的电阻值进行取样,
并且,气体传感器和驱动电路组装于便携式电子设备。
本发明的气体检测方法的特征在于,
当便携式电子设备的传感器检测出便携式电子设备被放置于封闭场所时,驱动电路停止针对金属氧化物半导体向工作温度的加热,
当便携式电子设备的传感器检测出便携式电子设备已从封闭场所被取出时,驱动电路重新开始针对金属氧化物半导体向工作温度的加热。
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