[发明专利]用于处理基板的方法和设备和对应的显示元件

说明书

根据本公开的一个方面，描述一种用于处理基板(10)的方法和设备，所述基板例如显示元件。所述基板具有电绝缘背侧(12)和与所述电绝缘背侧相对的前侧(14)。所述方法包括：用导电层(20)涂布所述电绝缘背侧(12)，以提供导电背侧(22)；将所述导电背侧与接地(25)或与参考电位连接；以及处理所述基板，特别是处理所述前侧和/或形成于所述前侧上的一个或多个电子装置(32)。另外，说明一种用于处理基板的设备。根据另外的方面，描述一种显示元件，所述显示元件包括基板(10)，所述基板(10)具有电绝缘背侧，所述电绝缘背侧涂布有导电层(20)。

技术领域

本公开的实施方式涉及基板处理，特别是用于显示元件的制造的基板的处理。本公开的实施方式特别地涉及用于基板处理的方法和设备，所述基板具有形成于基板的前侧上的一个或多个电子装置。另外，提出一种根据本文所述的方法制造的显示元件。

背景技术

目前的趋势是在基板上制造数量增加的电子装置并且特别是光电装置，以例如提供显示器、电路板和/或太阳能电池。特别地，存在对于诸如平面屏幕的平面显示元件的增长的需求。对于使用控制元件(例如薄膜晶体管(thin film transistor，TFT))的液晶显示器(liquid crystal display，LCD)和其他显示元件的标准提高。另外，显示器的增加的分辨率带来减小的结构尺寸(临界尺寸(critical dimension))和减小的层厚度，而提高这些显示装置对于静电放电(ESD)引起的缺陷的敏感性。这些显示元件一般具有配置成矩阵的像素，其中像素各提供功能性的电子装置。另外，在其他领域中也要在基板上形成数量增加的电子装置。这些电子装置例如包括薄膜晶体管、芯片的连接网络、晶体管、发射器阵列的电子发射器、用于显示器的像素的电极、和/或可特别是由作为多个元件(例如多于100,000到多达数个1,000,000)存在而出名的其他装置。各元件可为电性可控的。

针对例如消费类电子装置的在基板上制造电子装置的领域中的薄膜沉积来说，测试在基板上的电子装置是一般要进行的工作。为了取得例如显示元件的良好的图像质量，仅允许数百万像素的其中几个有缺陷。为了确保具有成本效益的生产，提供高能力(high-capacity)的原位测试方法因而是有利的。

平板显示器的基板可由玻璃或另一绝缘材料制成。在处置和处理基板期间，可聚积于基板的表面上的电荷可能致使基板的电极化。这可能在处置和处理基板期间增加因静电放电(electrostatic discharge，ESD)损坏的风险。因此，保护基板不受到可能由ESD导致的损坏会是有利的。

发明内容

有鉴于上述，提供一种处理基板的方法、一种用于处理基板的设备以及一种包括基板的显示元件。

根据本公开的一个方面，提出一种处理基板的方法，其中所述基板具有电绝缘背侧和与电绝缘背侧相对的前侧。所述方法包括用导电层涂布所述电绝缘背侧，以提供导电背侧；将所述导电背侧与接地或与参考电位连接；以及处理所述基板。

所述基板的所述处理可包括所述前侧的处理和/或形成于所述前侧上的一个或多个电子装置的处理。

根据另外的方面，提出一种用于处理基板的设备，其中所述基板具有电绝缘背侧和与所述电绝缘背侧相对的前侧。所述设备包括：第一涂布器，所述第一涂布器用于用导电层涂布所述电绝缘背侧，以提供导电背侧；基板支撑件，所述基板支撑件经配置以用于支撑所述基板和用于将所述导电背侧与接地或与参考电位连接；和处理装置，所述处理装置经配置以用于处理所述前侧和/或处理形成于所述前侧上的一个或多个电子装置。

根据再另外的方面，提出一种显示元件，特别是一种根据本文所述的任一方法处理的显示元件。所述显示元件包括基板，所述基板具有电绝缘背侧和与所述电绝缘背侧相对的前侧，其中一个或多个电子装置(特别是薄膜晶体管和/或显示像素)形成于所述前侧上，其中所述电绝缘背侧涂布有导电层，以提供所述基板的导电背侧。

本公开另外的方面、优点和特征通过从属权利要求、说明书和附图而清楚。