[发明专利]用于判断缺陷质量的方法和设备

权利要求书

1.一种用于判断缺陷质量的方法，包括步骤：

通过光学图像装置在包括多层透明薄膜的检查对象的高度方向上、以预定步长获取多个图像；

根据所述多个图像的每个像素与相邻像素的亮度差，来计算部分图像的锐度；

根据所述多个图像的所有图像中相同像素位置处的所述锐度的计算结果最大的图像编号，计算所述部分图像的高度信息；

从计算所述高度信息中获得所述所有图像的三维信息；和

基于所述三维信息，判断所述检查对象的缺陷质量。

2.根据权利要求1所述的用于判断缺陷质量的方法，还包括步骤：

检测所述锐度最高的所述图像的图案缺陷；

提取具有部分图像的最大密度的图像，所述部分图像具有所述多个图像中的所述高锐度；

将所述图像设置为三维图案结构的高度方向上的基准位置1；和

根据所述图案缺陷的所述高度信息与所述基准位置1之间的关系，测量所述出现的图案缺陷在所述三维图案结构中的高度。

3.根据权利要求1所述的用于判断缺陷质量的方法，还包括步骤：

检测所述锐度最高的所述图像的图案缺陷；

提取干涉条纹的干涉图像在所述多个图像中具有最高锐度的图像，所述干涉图像在所述透明薄膜的边缘部分生成；

将所述图像设置为三维图案结构的高度方向上的基准位置2；和

根据所述图案缺陷的所述高度信息与所述基准位置2之间的关系，测量所述出现的图案缺陷在所述三维图案结构中的高度。

4.根据权利要求2或3所述的用于判断缺陷质量的方法，还包括步骤：

通过使用所述图案缺陷的所述高度信息，来修复所述图案缺陷。

5.一种用于判断缺陷质量的设备，包括：

成像装置，通过以预定步长向上和向下移动的光学成像装置，获取具有多层透明薄膜的检查对象的、具有图像编号的多个图像数据；

提取部件，用于提取所述图像数据的特征；

评估值计算部件，用于基于所述特征计算评估值；

评估值比较部件，用于将所述评估值和与所述评估值的位置关系一致的先前评估值进行比较，并生成比较结果；

评估值存储部件，用于基于所述比较结果存储所述评估值；

图像编号存储部件，用于基于所述比较结果存储所述图像编号；

三维信息提取部件，用于基于在所述图像编号存储部件中存储的所述图像编号，提取所述检查对象的三维信息；

三维信息提取部件，用于基于所述三维信息提取存在于所述检查对象中的缺陷的高度信息；和

质量判断部件，用于在存在所述多个缺陷的情况下，基于所述缺陷中的所述高度信息的差异，来判断所述检查对象的质量。

6.根据权利要求5所述的用于判断缺陷质量的设备，其中所述三维信息提取部件基于所述评估值最高的所述图像编号提取所述三维信息。

7.根据权利要求5或6所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，基于感兴趣像素和与所述感兴趣像素相邻的相邻像素之间的亮度差，来计算所述评估值。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，所述三维信息提取部件基于所述检查对象的电极图案、和对所述检查对象的密封层的干涉条纹进行成像的所述图像数据的所述评估值，来确定所述高度信息的基准。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中所述缺陷是图案缺陷、针孔或杂质。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中，所述评估值是基于所述感兴趣像素的亮度值与所述相邻像素的亮度值之差所计算的锐度。

11.根据权利要求5至10中任一项所述的用于判断缺陷质量的设备，其中所述检查对象是有机电致发光(EL)显示器件。