[发明专利]调整组件和包括该调整组件的衬底曝光系统

权利要求书

1.一种机械调整组件，用于调整一系列机械连接部件的第一部分相对于一系列机械连接部件的第二部分的位置，

其中所述机械调整组件包括第一波纹管、第二波纹管和导管，其中所述导管将所述第一波纹管和所述第二波纹管互连，用于形成液压系统，

其中所述第一波纹管布置在所述一系列机械连接部件的所述第一部分和所述第二部分之间，其中所述第二波纹管布置为与所述第一波纹管隔开，并且其中所述第一波纹管被布置为由所述第二波纹管致动，以及

其中所述机械调整组件被配置为在平行于垂直轴线的方向上调节所述第一部分和所述第二部分的相对位置，并且被配置为调节所述第一部分和所述第二部分中的至少一部分围绕垂直于所述垂直轴线的轴线的倾斜。

2.根据权利要求1所述的机械调整组件，其中所述第二波纹管设置有驱动单元，被布置为压缩或膨胀所述第二波纹管，用于致动所述第一波纹管。

3.根据权利要求2所述的机械调整组件，其中所述驱动单元包括电机。

4.根据权利要求1或2所述的机械调整组件，其中所述系统包括至少一个传感器，用于测量所述一系列机械连接部件的所述第一部分相对于所述第二部分的位置或者所述一系列机械连接部件的所述第一部分相对于所述一系列机械连接部件的所述第二部分的位置的变化。

5.一种用于调整一系列机械连接部件的第一部分相对于所述一系列机械连接部件的第二部分的位置的方法，包括：

提供包括第一波纹管、第二波纹管和导管的机械调整组件，其中所述导管将所述第一波纹管和所述第二波纹管互连，用于形成液压系统，以及其中所述机械调整组件被配置为在平行于垂直轴线的方向上调节所述第一部分和所述第二部分的相对位置，并且被配置为调节所述第一部分和所述第二部分中的至少一部分围绕垂直于所述垂直轴线的轴线的倾斜，

在所述一系列机械连接部件的所述第一部分和所述第二部分之间布置所述第一波纹管，

将所述第二波纹管布置为与所述第一波纹管隔开，以及

致动所述第二波纹管，从而引起所述第一波纹管的致动，以便调整所述机械连接部件的所述第一部分相对于所述一系列机械连接部件的所述第二部分的位置。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括：基于来自至少一个传感器的信号控制所述第二波纹管的致动，所述至少一个传感器测量所述一系列机械连接部件的所述第一部分相对于所述第二部分的位置或者所述一系列机械连接部件的所述第一部分相对于所述一系列机械连接部件的所述第二部分的位置的变化。

7.一种衬底曝光系统，包括：

框架，

衬底支撑模块，用于承载衬底，所述衬底支撑模块连接至所述框架，

曝光装置，其中所述曝光装置被所述框架承载并且被布置用于曝光由所述衬底支撑模块承载的所述衬底，以及

调整组件，用于调整所述曝光装置相对于所述衬底支撑模块的位置，其中所述调整组件包括液压致动器、液压发生器和导管，其中所述导管将所述液压致动器和所述液压发生器互连，用于形成液压系统，

其中所述曝光装置、所述框架、所述调整组件和所述衬底支撑模块布置为一系列机械连接部件的部分，其中所述一系列机械连接部件包括第一部分和第二部分，所述第一部分至少包括所述曝光装置，并且所述第二部分至少包括所述衬底支撑模块，并且其中所述液压致动器布置在所述一系列机械连接部件的所述第一部分和所述第二部分之间。

8.根据权利要求7所述的衬底曝光系统，其中所述液压致动器布置在所述框架和所述衬底支撑模块之间。

9.根据权利要求7所述的衬底曝光系统，其中所述液压致动器包括第一波纹管。

10.根据权利要求9所述的衬底曝光系统，其中所述液压发生器包括第二波纹管。

11.根据权利要求10所述的衬底曝光系统，其中所述第二波纹管设置有驱动单元。