[发明专利]应变体及具备该应变体的力传感器

权利要求书

1.一种应变体，具备：

中央部；

外周部，其包围所述中央部的周围；

多个连接部，其将所述中央部与所述外周部连接；

多个变形传感器，其设置于所述连接部的主表面上；

多个参考电阻，其设置于所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器一起构成桥接电路；

电极，其设置于所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器及所述多个参考电阻进行电连接，用于取出所述桥接电路的检测信号；

引线，其将所述电极与外部进行电连接；以及

各向异性导电膜，其设置于所述电极与所述引线之间，将所述电极的端子与所述引线的端子进行电连接。

2.根据权利要求1所述的应变体，其中，

所述多个连接部分别具备与所述外周部相邻的第一连接部和与所述中央部相邻的第二连接部，

所述第一连接部具备产生比产生于所述第二连接部的变形大的变形的变形增大部。

3.根据权利要求2所述的应变体，其中，

所述多个变形传感器中的至少一个在所述第一连接部的主表面上构成所述桥接电路。

4.根据权利要求2所述的应变体，其中，

所述多个变形传感器在所述第二连接部的主表面上构成全桥电路。

5.根据权利要求2所述的应变体，其中，

所述变形增大部具备向所述应变体的厚度方向凹陷的槽。

6.根据权利要求1所述的应变体，其中，

所述外周部及所述连接部的弹性比所述中央部的弹性大。

7.根据权利要求1所述的应变体，其中，

还具备配线，其设置于所述中央部及所述连接部的主表面上，将所述多个变形传感器、所述多个参考电阻、以及所述电极进行电连接，

所述多个变形传感器、所述多个参考电阻、所述电极、以及所述配线在连结所述外周部的角部的对角线的两侧对称配置。

8.一种力传感器，具备：

权利要求1～7中任一项所述的应变体；

圆筒状的主体；以及

圆筒状的可动体，其能够相对于所述主体运动，

所述应变体的所述中央部连接于所述主体和所述可动体中的一方，

所述应变体的所述外周部连接于所述主体和所述可动体中的另一方。

9.根据权利要求8所述的力传感器，其中，

还具备：

至少3个圆形的开口部，其设置于所述可动体的周围；

挡块，其配置于所述开口部各自的内部，具备第一侧面，所述第一侧面具有比所述开口部的直径小的第一外径；以及

固定部件，其将所述挡块固定于所述主体。