[发明专利]应变体及具备该应变体的力传感器

说明书

本发明提供能够确保电极端子与引线端子之间的可靠的电连接且提高可靠性的应变体及具备该应变体的力传感器。实施方式的应变体16具备：中央部161；外周部162，包围中央部的周围；多个连接部163，将中央部与外周部连接；多个变形传感器S1～S32，设置于连接部的主表面上；多个参考电阻RS4～RS30，设置于中央部的主表面上，与多个变形传感器一起构成桥接电路；电极171，设置于中央部的主表面上，与多个变形传感器及多个参考电阻进行电连接，用于取出桥接电路的检测信号；引线182，将电极与外部进行电连接；及各向异性导电膜181，设置于电极与引线之间，将电极的端子与引线的端子进行电连接。

技术领域

本发明的实施方式涉及例如具备应变体且可适用于机械臂的六轴力传感器等。

背景技术

已知有例如用于机械臂等、且检测XYZ方向的外力及扭矩的六轴力传感器(例如，参照专利文献1、2)。

这种力传感器中，施加于作为可动部的受力体的外力传递至应变体，设置于应变体的变形传感器(应变计)的变形转换成电信号而被检测到。

这种具备变形传感器的应变体的应用范围具有随着近年来的计算机技术及信息通信技术的进展而日益扩大的倾向，要求应变体的进一步小型化及高性能化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-429209号公报

专利文献2：日本特开2013-61305号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，随着应变体的进一步小型化及高性能化，用于将来自变形传感器的探测信号向外部取出的电极端子间的作为距离的间距极窄。因此，即使在电极端子的位置与用于将检测信号向外部取出的引线的端子的位置稍微偏离的情况下，也不能将正常的探测信号取出至外部。这样，目前，难以提供能够确保电极端子与引线的端子之间的可靠的电连接且提高可靠性的应变体。

因此，本发明的实施方式提供能够确保电极端子与引线的端子之间的可靠的电连接且提高可靠性的应变体及具备该应变体的力传感器。

用于解决课题的方案

实施方式的应变体具备：中央部；外周部，其包围所述中央部的周围；多个连接部，其将所述中央部与所述外周部连接；多个变形传感器，其设置于所述连接部的主表面上；多个参考电阻，其设置于所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器一起构成桥接电路；电极，其设置于所述中央部的主表面上，与所述多个变形传感器及所述多个参考电阻进行电连接，用于取出所述桥接电路的检测信号；引线，其将所述电极与外部进行电连接；以及各向异性导电膜，其设置于所述电极与所述引线之间，将所述电极的端子与所述引线的端子进行电连接。

发明效果

根据本发明，能够提供能够确保电极端子与引线端子之间的可靠的电连接且提高可靠性的应变体及具备该应变体的力传感器。

附图说明

图1是表示第一实施方式的应变体的整体结构的立体图；

图2是表示图1的应变体的平面结构的俯视图；

图3是详细地表示图1的应变体的从主表面侧观察的中央部及连接部的俯视图；

图4是包含图3的变形传感器的连接部的剖面图；

图5是用于说明第一实施方式的应变体的桥接电路及全桥电路的电路图；

图6是表示检测电路与检测的力及力矩的关系的图；

图7是用于说明第一实施方式的应变体的制造方法的流程图；