[发明专利]大气压等离子体装置

权利要求书

1.一种大气压等离子体装置，具备：等离子体头、气体配管、流量控制计、压力传感器、判断部，

所述大气压等离子体装置的特征在于，

所述等离子体头具备下表面形成有一对圆柱状的圆柱凹部的主体块和位于该圆柱凹部中的一对电极，在所述主体块的内部形成有向一对圆柱凹部之间开口的第一气体流路和向一对圆柱凹部的内部开口的第二气体流路，

所述气体配管向所述等离子体头供给气体并包括与所述第一气体流路连接的第一气体配管和与所述第二气体流路连接的第二气体配管，

所述第一气体配管向所述第一气体流路供给氮作为处理气体，所述第二气体配管向所述第二气体流路供给干燥空气作为处理气体，通过在所述一对电极间产生的疑似电弧放电而将处理气体等离子体化，所述疑似电弧放电是指一边通过等离子体电源限制电流一边放电的方式，以使得不会像通常的电弧放电那样流动有大电流，

所述流量控制计控制向所述第一气体配管和所述第二气体配管供给的气体的流量，

所述压力传感器配设于所述流量控制计的下游侧、所述等离子体头的上游侧，检测与所述等离子体头的内部分别连通的所述第一气体配管和所述第二气体配管内的压力，

所述判断部根据对应被供给的气体的各流量所规定的所述第一气体配管和所述第二气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。

2.根据权利要求1所述的大气压等离子体装置，其中，

在所述第一气体配管和所述第二气体配管内的压力为所述标准值以上的情况下，所述判断部判断为在所述等离子体头内以预先确定的规定状态产生了等离子体。

3.根据权利要求1或2所述的大气压等离子体装置，其中，

在所述第一气体配管和所述第二气体配管内的压力为所述标准值以下的情况下，所述判断部将装置的状态判断为异常。

4.根据权利要求3所述的大气压等离子体装置，其中，

所述判断部根据气体的减压量来判断气体的泄漏量。