[发明专利]大气压等离子体装置

说明书

本发明谋求一种通过压力传感器来检测气体配管内的压力并通过判断部根据气体配管内的压力偏离标准值的情况来判断装置的状态的有用的大气压等离子体装置。提供一种大气压等离子体装置，该大气压等离子体装置具备：等离子体照射头；气体配管，向等离子体照射头供给气体；流量控制计，控制向气体配管供给的气体的流量；压力传感器，配设于流量控制计的下游侧X，检测气体配管内的压力；及判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。由此，能够判断大气压等离子体装置的气体泄漏。另外，能够判断是否以良好的状态产生了等离子体。

技术领域

本申请涉及一种大气压等离子体装置，更加具体地说，涉及一种检测气体配管内的压力来判断装置的状态的大气压等离子体装置。

背景技术

迄今为止，存在有在对被处理体进行等离子体处理的等离子体处理装置中具备检测气体配管内的压力的压力计的装置。关于该技术，例如，存在有日本特开2012-129356号“等离子体处理装置、等离子体处理方法及存储介质”。该内容为一种等离子体处理装置，通过处理气体的等离子体而对被处理基板进行等离子体处理，该等离子体处理装置具备：处理容器，收容有被处理基板，内部能够进行真空排气；下部电极，配置于处理容器内，作为被处理基板的载置台发挥功能；上部电极，以与下部电极相向的方式配置于处理容器内，具有将处理气体呈喷淋状地向处理容器内喷出的能够装卸的电极板；气体供给单元，包括向上部电极供给处理气体的气体配管；等离子体生成用高频电力施加单元，对上部电极或者下部电极中的至少一方施加等离子体生成用的高频电力；压力计，检测气体配管内的压力；及控制部，以基于压力计的气体配管内的压力的检测值为基础，求得电极板的消耗度，计算基于此时的电极板的消耗的处理速率的变动，以消除该处理速率的变动的方式调整处理条件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-129356号公报

发明内容

发明所要解决的课题

专利文献1基于气体配管内的压力的检测值，求得电极板的消耗度，计算基于此时的电极板的消耗的处理速率的变动，以消除该处理速率的变动的方式调整处理条件。因此，能够始终以与电极板未消耗时同等的处理速率进行等离子体处理，抑制与电极板的消耗相伴的处理速率的变动。另一方面，在大气压等离子体装置中，要求通过压力传感器来检测气体配管内的压力，通过判断部根据气体配管内的压力偏离标准值的情况来判断装置的状态。

为此，本申请的目的在于提供一种解决上述课题的大气压等离子体装置。

用于解决课题的技术方案

为了实现所述目的，本申请的大气压等离子体装置具备：等离子体头；气体配管，向等离子体头供给气体；流量控制计，控制向气体配管供给的气体的流量；压力传感器，配设于流量控制计的下游侧，检测气体配管内的压力；及判断部，根据对应被供给的气体的各流量所规定的气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。

发明效果

本申请的大气压等离子体装置具备：压力传感器，检测气体配管内的压力；及判断部，根据气体配管内的压力偏离标准值的情况，来判断装置的状态。由此，能够判断气体配管的泄漏、偏离等异常、等离子体头中的等离子体的生成状态等大气压等离子体装置的状态。

附图说明

图1是表示安装于工业用机器人的等离子体发生装置的概要结构的图。

图2是等离子体头的立体图。

图3是表示等离子体头的内部构造的剖视图。

图4是表示等离子体发生装置的控制系统的框图。

图5是表示检测模块的电结构的框图。