[发明专利]波长转换装置

权利要求书

1.一种波长转换装置，其具有：

A.晶体保持器，其对非线性晶体进行保持，该非线性晶体对所入射的激光进行波长转换而出射；

B.第一容器，其收纳所述晶体保持器，包含入射窗口和出射窗口，其中，该入射窗口设置在向所述非线性晶体入射的所述激光的光路上，该出射窗口设置在从所述非线性晶体出射的所述激光的光路上；

C.第二容器，其收纳所述第一容器；

D.位置调整机构，其进行至少所述第一容器的位置调整；以及

E.隔离机构，其将所述入射窗口和所述出射窗口在空间上与所述位置调整机构进行隔离，

所述位置调整机构包含：旋转驱动部，其使所述非线性晶体旋转，以变更所述激光对所述非线性晶体的入射角度；以及直线驱动部，其使所述非线性晶体进行直线移动，

所述第一容器经由设置于底部的贯通孔而与所述旋转驱动部连接，

所述旋转驱动部由设置于所述第一容器的底部的保持部保持，

所述保持部载置在收纳于所述第二容器的所述直线驱动部上，

所述隔离机构包含波纹管，该波纹管配置在所述第一容器与所述第二容器之间，覆盖所述位置调整机构的周围。

2.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

该波长转换装置还具有：

F.第一净化机构，其通过第一净化气体对所述第一容器内进行净化；以及

G.第二净化机构，其通过第二净化气体对所述第二容器内进行净化，

其中，所述第一净化机构将所述第一容器的内压保持为比外部高的状态。

3.根据权利要求2所述的波长转换装置，其中，

所述第一净化机构包含：

第一气体导入管，其贯穿所述第二容器而与所述第一容器连接，向所述第一容器内导入所述第一净化气体；以及

第一气体排出管，其贯穿所述第二容器而与所述第一容器连接，将所述第一净化气体从所述第一容器内排出。

4.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，

所述第一净化气体是氩气、氦气、氖气或氢气，

所述第二净化气体是氮气、氩气、氦气或氢气。

5.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，

所述第二净化机构包含：

第二气体导入管，其向所述第二容器内导入所述第二净化气体；以及

第二气体排出管，其将所述第二净化气体从所述第二容器内排出。

6.根据权利要求3所述的波长转换装置，其中，

所述第一气体导入管包含连接在所述第一容器与所述第二容器之间的挠性导入管，

所述第一气体排出管包含连接在所述第一容器与所述第二容器之间的挠性排出管。

7.根据权利要求6所述的波长转换装置，其中，

所述挠性导入管和所述挠性排出管是氟系树脂管。

8.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述第二容器收纳有多组所述晶体保持器、所述第一容器、所述位置调整机构以及所述隔离机构。

9.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述入射窗口经由O形环而与设置于所述第一容器的主体的入射侧开口部连接，在所述入射窗口形成有遮蔽所述O形环以免受所述激光的散射光的遮蔽膜。

10.根据权利要求1所述的波长转换装置，其中，

所述非线性晶体是CLBO晶体、KBBF晶体或BBO晶体。