[发明专利]有机EL设备及其制造方法

说明书

实施方式所涉及的有机EL设备(100)具备：元件基板(20)，其具有基板(1)和被基板支撑的多个有机EL元件(3)；薄膜封装结构(10)，所述薄膜封装结构(10)是形成于所述多个有机EL元件上的薄膜封装结构，其具有由第一无机阻挡层(12)、有机阻挡层(14)、第二无机阻挡层(16)构成的至少一个的复合层叠体(10S)，所述有机阻挡层(14)具有与所述第一无机阻挡层的上表面接触且分散分布的多个实心部，所述第二无机阻挡层(16)与所述第一无机阻挡层的上表面及所述有机阻挡层的多个实心部的上表面接触；有机平坦化层(42)，其设置在所述薄膜封装结构之上由光敏树脂形成；触摸传感层(50)，其被配置在有机平坦化层之上。

技术领域

本发明关于有机EL设备(例如，有机EL显示装置及有机EL照明装置)及其制造方法。

背景技术

有机EL(Electro Luminescence)显示装置开始实用化。机EL显示装置的特征之一列举有能够得到柔性显示装置这一点。有机EL显示装置具有用于每个像素的至少一个有机EL元件(Organic Light Emitting Diode：OLED)以及控制提供至每个OLED的电流的至少一个的TFT(Thin Film Transistor)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。这种每个OLED具有TFT等开关元件的OLED显示装置称为有源矩阵型OLED显示装置。另外，将形成TFT及OLED的基板称为元件基板。

OLED(特别是有机发光层及阴极电极材料)容易受到水分的影响而劣化，也容易产生显示不均。作为保护OLED不受潮并提供不会损坏柔软性的封装结构的技术，开发了一种薄膜封装技术(Thin Film Encapsulation：TFE)。薄膜封装技术是通过无机阻挡层和有机阻挡层相互层叠，通过薄膜以获得具有充分的蒸汽阻挡性的技术。从OLED显示装置的耐湿性的观点而言，作为薄膜封装结构的WVTR(Water Vapor Transmission Rate：WVTR)，通常要求小于1×10^-4g/m²/day。

目前市面上贩卖的使用在OLED显示装置上的薄膜封装结构具有厚度大约为5μm～20μm的有机阻挡层(高分子阻隔层)。这种较厚的有机阻挡层承担了将元件基板的表面平坦化的作用。但是，存在当有机阻挡层较厚时，OLED显示装置的弯曲性会被限制的问题。

另外，还存在量产性较低的问题。所述较厚的有机阻挡层是使用喷墨法、微喷法等印刷技术来形成的。另一方面，无机阻挡层是在真空(例如，小于1Pa)的环境下使用薄膜成膜技术形成的。由于使用印刷技术的有机阻挡层的形成是在空气中或者氮气的环境下进行，而无机阻挡层的形成是在真空中进行的，所以在形成薄膜封装结构的过程中，将元件基板从真空容器中进出而量产性低。

在此，例如，如专利文献1所公开的，开发了一种可以连续制造无机阻挡层和有机阻挡层的成膜装置。

另外，专利文献2中公开了一种薄膜封装结构，其从元件基板侧以依序形成第一无机阻挡层、第一树脂材及第二无机材料层时，使第一树脂材在第一无机材料层的凸部(覆盖凸部的第一无机材料层)的周围不均匀。根据专利文献2，使第一树脂材在可能未被第一无机材料层充分覆盖的某个凸部周围不均匀地分布，从而抑制了水分或氧气从该部分侵入。另外，通过将第一树脂材作为第二无机材料层的基底层发挥作用，由此第二无机材料层适当地成膜，并可以以期望的薄膜厚度适当地覆盖第一无机材料层的侧面。第一树脂材形成为如下。使加热气化的雾气状的有机材料提供至维持在室温以下的温度的元件基板，有机材料在基板上凝结、滴状化。滴状化的有机材料通过毛细管现象或表面张力在基板上移动，并在第一无机材料层的凸部的侧面和基板表面的边界部不均匀分布。之后，通过使有机材料固化，在边界部形成第一树脂材。专利文献3也公开了具有同样的薄膜封装结构的OLED显示装置。另外，专利文献4公开了用于OLED显示装置的制造的成膜装置。