[发明专利]蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，其用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的所述像素上蒸镀蒸镀层，所述蒸镀掩模的特征在于，

具有掩模片，所述掩模片设置有以横跨所述多个有源区域的方式排列形成有多个蒸镀孔的有效部，

所述有效部具有第一区域和第二区域，

所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，

在所述第二区域中设置有对所述第一区域的形状进行限定并对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述遮蔽部以横跨所述第二区域所包含的多个蒸镀孔的方式进行设置。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述遮蔽部设置于与所述掩模片中的、和所述被蒸镀基板对置的第一面相反侧的第二面。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述遮蔽部为树脂。

5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述遮蔽部为光固化性树脂。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述有效部为正方形或长方形。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在所述有效部中设置有形状不同的多个所述第一区域。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第一区域包含供所述第二区域从该第一区域的一边朝向内部方向突出的切口，

在所述第一区域外且被所述切口包围的区域内的所述多个蒸镀孔被所述遮蔽部遮蔽。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第二区域包含浮岛部，所述浮岛部被所述第一区域包围的区域且不与该第一区域的外形接触。

10.一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的所述像素上蒸镀蒸镀层，

所述蒸镀掩模的制造方法的特征在于，具有如下工序：

蒸镀孔形成工序，通过在掩模片上形成多个蒸镀孔，从而以横跨多个所述有源区域的方式设置有效部，

遮蔽部形成工序，通过在所述有效部中的、与所述有源区域对应的形状的外侧形成对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部，从而按照每个所述有源区域设置与所述有源区域对应的形状的第一区域，并且设置设置有所述遮蔽部的第二区域。

11.根据权利要求10所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，

所述遮蔽部形成工序包含：

涂布工序，将遮蔽材料涂布于所述掩模片中的成为所述第二区域的区域；

固化工序，使通过所述涂布工序而涂布的所述遮蔽材料固化而形成所述遮蔽部。

12.根据权利要求11所述的蒸镀掩模的制造方法，其特征在于，

具有掩模片安装工序，在该工序中，架设所述掩模片并将所述掩模片安装于框状的掩模框，

所述涂布工序以及所述固化工序在所述掩模片安装工序之后进行。