[发明专利]蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法

说明书

形成于掩模片(15)的有效部(YA)以横跨被蒸镀基板的多个有源区域(3)的方式进行设置，有效部(YA)具有第一区域(YA1)以及第二区域(YA2)，第一区域(YA1)按照每个有源区域(3)而设置为与有源区域(3)对应的形状，在第二区域(YA2)且第一区域(YA1)外设置有对多个蒸镀孔(H)进行遮蔽的遮蔽部(25)。

技术领域

本发明涉及一种蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法。

背景技术

如专利文献1所记载那样，在有机EL显示装置中，在各像素上图案化形成发光层时，使用蒸镀掩模。

如图18的(a)所示，将分别为片状的多个覆盖片112与多个支撑片113呈格子状且相互正交地安装于具有框开口部111a的框状的掩模框111。

多个覆盖片112以及多个支撑片113在安装于掩模框111时，向外架设(拉伸)两端部并且将两端部附近熔接于掩模框111。

由此，将多个覆盖片112以和与掩模框111的长边方向(纸面中的上下方向)正交的短边方向(纸面中的左右方向)平行的方式安装于掩模框111。此外，将多个支撑片113以与掩模框111的长边方向平行的方式安装于掩模框111。

接着，将形成有对位标记的对准片114以对位标记来到规定位置的方式沿框开口部111a的短边安装于掩模框111。

并且，以对位标记为基准，将短条状的多个掩模片115的两端部向外架设(拉伸)并且将两端部附近熔接于掩模框111。

在掩模片115形成有多个有效部115a。有效部115a为排列形成有多个蒸镀孔的区域，所述多个蒸镀孔用于按照被蒸镀基板的每个像素来蒸镀蒸镀层。

在图18的示例中，有效部115a具有与被蒸镀基板的有源区域对应的形状。

如图18的(b)所示，以在通过多个覆盖片112和多个支撑片113划分出的所有开口部包含有效部115a的方式，架设并且熔接多个掩模片115。并且，将多个掩模片115各自的熔接的部分的外侧的多余部分切去。由此，完成蒸镀掩模110。

在使用蒸镀掩模110进行蒸镀时，从蒸镀源气化或升华的蒸镀粒子穿过有效部115a的蒸镀孔而附着于被蒸镀基板的像素。附着于该像素的蒸镀粒子成为发光层。因此，有效部115a具有与被蒸镀基板的有源区域对应的形状，在与通过多个覆盖片112和多个支撑片113划分出的开口部相比面积较小的区域形成有图案。并且，被蒸镀基板中的蒸镀发光层的位置由蒸镀掩模中的设置于各蒸镀孔的开口图案的位置来决定，被蒸镀基板中的蒸镀有发光层的有源区域的外形由有效部115a的外形来决定。

如此，形成有有效部115a的掩模片115特别形成有与像素对应的多个蒸镀孔，因此需要位置精度良好地安装于掩模框111。

根据掩模片115，有效部115a为长方形，因此在将掩模片115安装于掩模框111时，即使对掩模片115的端部施加向外的力，施加于有效部115a周围的应力也易于均匀化且能够将掩模片115比较位置精度良好地安装于掩模框111。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2012-132096号”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

以往，有机EL显示装置的显示区域的外形为智能电话等的应用标准的正方形或长方形且易于制作。

近年来，正在开发通过不使用玻璃而是使用薄膜作为支承体，从而具有柔性(能够弯折)的有机EL显示装置。特别是此种柔性有机EL显示装置的支承体不是玻璃而是薄膜，因此易于加工且能够切为各种形状。