[发明专利]等离子体照射装置

说明书

等离子体照射装置构成为具备：等离子体头(14)，产生等离子化气体并从喷嘴喷出该等离子化气体；气体供给装置(50)，用于对气体进行流量调节并向等离子体头供给气体；气体管(60)，将该气体供给装置与等离子体头之间连接而成为气体的流路；及压力检测器(62)，检测从气体供给装置供给的气体的压力。检测向等离子体头供给的气体的压力(P_A～P_D)，并将该压力利用于各种情况，从而构成实用的等离子体照射装置。具体而言，例如能够基于检测出的压力而简便地判定出气流在等离子体头中的堵塞即头堵塞。

技术领域

本发明涉及照射等离子化的气体的等离子体照射装置。

背景技术

例如如下述专利文献所记载的那样，等离子体照射装置构成为具备喷出等离子化的气体即等离子化气体的等离子体头，并向工件的表面照射该等离子化气体。从气体供给装置经由气体管而向等离子体头供给作为等离子化气体的来源的反应气体和用于运送该反应气体的载气。等离子体头具备一对电极，向上述一对电极间施加电压而使通过上述一对电极间的反应气体等离子化。从等离子体头的喷嘴喷出该等离子化的气体及载气。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2012-129356号公报

发明内容

发明要解决的课题

上述等离子体照射装置正在开发中，能够通过实施某些改良来提高实用性。本发明鉴于这样的实际情况而作出，以提供一种高实用性的等离子体照射装置为课题。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的等离子体照射装置的特征在于，具备：

等离子体头，产生等离子化气体并从喷嘴喷出该等离子化气体；

气体供给装置，用于对气体进行流量调节并向上述等离子体头供给气体；

气体管，将该气体供给装置与上述等离子体头之间连接而成为气体的流路；及

压力检测器，检测从上述气体供给装置供给的气体的压力。

发明效果

根据本发明，可以检测向等离子体头供给的气体的压力，能够将该压力利用于各种情况。因此，根据本发明，可以构成实用的等离子体照射装置。具体而言，例如能够基于检测出的压力而简便地判定出气流在等离子体头中的堵塞即头堵塞。

附图说明

图1是表示作为实施例的等离子体照射装置的等离子体处理机的整体结构的立体图。

图2是以拆下了罩的状态表示图1中的等离子体处理机所具有的作为等离子体头的照射头的立体图。

图3是图2中的照射头的剖视图。

图4是表示能够向图1中的等离子体处理机安装的其他等离子体头的剖视图。

图5是用于说明与向图1的等离子体处理机中的等离子体头的气体供给相关的结构的模式图。

具体实施方式

以下，作为实施例，参照附图来详细地说明本发明的等离子体照射装置的代表性的实施方式。另外，除了下述实施例之外，本发明也可以以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更、改良后的各种形态来实施。

实施例

[A]等离子体照射装置的整体结构