[其他]发光装置、测试晶圆的测试装置

权利要求书

1.一种发光装置，包括：具有一个端面的容置盒、光处理结构及朝向所述光处理结构发射用于测试的测试光线的光源；

所述光处理结构至少包括用于使所述光源发出的测试光线均匀化的第一均光片，所述第一均光片安装在所述容置盒内；

所述光源安装在所述端面上；

其中，所述测试光线经过所述光处理结构后照射到待测的晶圆。

2.如权利要求1所述的发光装置，其中，所述光处理结构还包括至少一偏光片；

所述偏光片安装在所述容置盒内，且面对所述第一均光片。

3.如权利要求2所述的发光装置，其中，所述偏光片的数目为两个，且所述光处理结构还包括用于调节两个所述偏光片之间的夹角，以形成光偏振角的调节旋钮；

所述调节旋钮安装在两个所述偏光片中的至少一个偏光片上。

4.如权利要求2所述的发光装置，其中，所述光处理结构还包括第二均光片；

所述第二均光片安装在所述容置盒内，所述第二均光片位于所述偏光片的一侧，且所述第一均光片位于所述偏光片的另一侧。

5.如权利要求1至4中任一项所述的发光装置，其中，所述发光装置还包括用于检测经过所述光处理结构的测试光线的光强度的多个光线检测元件；

所述多个光线检测元件安装在所述容置盒的内壁且均匀分布。

6.如权利要求5所述的发光装置，其中，所述光处理结构还包括第三均光片；

所述第三均光片安装在所述容置盒内，且位于所述第一均光片与所述多个光线检测元件之间。

7.如权利要求1所述的发光装置，其中，所述容置盒内表面设置有避免光在容置盒内壁上反射的吸光层。

8.如权利要求1所述的发光装置，其中，所述光源包括多个发光元件，所述多个发光元件均匀地安装在所述端面上。

9.如权利要求8所述的发光装置，其中，所述光源还包括向所述多个发光元件输出多种驱动电流的驱动源，所述驱动源分别连接于所述多个发光元件。

10.一种测试晶圆的测试装置，包括：电路板、权利要求1至9中任一项所述的发光装置以及用于控制所述光源发射所述测试光线、接收所述晶圆输出的光感应信号，并根据所述光感应信号判断所述晶圆是否合格的控制器；

所述晶圆安装在所述电路板上，所述发光装置设置在所述电路板上且对应于所述晶圆；

所述控制器电性连接于所述晶圆与所述发光装置中的所述光源；

其中，所述测试光线经过所述光处理结构后照射到所述晶圆上。

11.如权利要求10所述的测试装置，其中，所述晶圆安装在电路板上，所述测试装置还包括固定座；

所述容置盒通过所述固定座固定在所述电路板上。

12.如权利要求10或11所述的测试装置，其中，所述测试装置还包括用于记录所述发光装置的配置信息和/或晶圆的测试结果的存储器；

所述存储器电性连接于所述控制器。