[其他]位置检测装置及致动器

说明书

一种位置检测装置及致动器。位置检测装置具有：第一桥接电路(31)，根据沿磁化方向移动的磁铁的移动，输出SIN信号；以及第二桥接电路(32)，根据沿磁化方向移动的磁铁的移动，输出COS信号。通过具有磁场方向检测传感器的区域判别单元，判定磁铁相对于桥接电路的中心部是位于移动方向一侧还是位于轴向另一侧。基于SIN信号和COS信号，计算具有主区域信号和移位区域信号的ATAN二值，并且基于磁场方向检测传感器的信号和ATAN二值计算磁铁的位置。

技术领域

本实用新型涉及检测往复动作部件的位置的位置检测装置以及具备位置检测装置的致动器。

背景技术

为了驱动被加工物、夹具等被驱动部件而使用致动器，进而，为了将把持被加工物等的手作为被驱动部件而对手进行开闭驱动也使用致动器。致动器具有通过气压、液压进行驱动的往复动作部件，往复动作部件连结于被驱动部件。在这种致动器中，磁铁安装于往复动作部件，设置有检测磁铁的磁场的磁阻元件的传感器头安装于致动器主体。这样，能够基于磁阻元件的输出信号检测出往复动作部件的位置。

专利文献1公开了在传感器头内的两处设置有磁阻元件的磁线性测定装置。两个磁阻元件设置于在活塞的移动方向上相互错开的位置。在该磁线性测定装置中，通过作为往复动作部件的活塞的移动，当磁铁处于两处的磁阻元件之间的位置时，检测活塞的位置。另外，专利文献2公开了具备相互配置于正交方向的两个磁阻元件，检测流体压缸的活塞位置的位置检测装置。在该位置检测装置中，通过温度补偿电路补偿来自磁阻元件的输出电压由于周围温度的变化而发生的变动。进一步地，专利文献3公开了在设置于致动器主体的传感器头上设置根据移动部件的位置而点亮的 LED的位置检测装置。该位置检测装置具有分别由4个磁阻元件构成的两个磁阻桥接电路，各个磁阻桥接电路输出在磁铁的移动方向上具有相位差的输出信号。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2009-128301号公报

专利文献2:日本特开平11-303818号公报

专利文献3:日本特开2010-48698号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的技术问题

如专利文献1那样，当在往复动作部件的移动方向上不同的两个位置设置两个磁阻元件时，仅在往复动作部件在磁阻元件之间移动时能够检测位置，当往复动作部件在元件之间以外移动时，无法确定位置。另外，在专利文献2中，当两个磁阻元件的中点电压处于大小两个基准电压间的范围时，输出接通信号，检测往复动作部件是否位于某一范围内，无法线性地确定往复动作部件的位置。进一步地，在专利文献3中，基于来自两个磁阻桥接电路的输出电压计算往复动作部件的位置，能够高精度地检测出往复动作部件的位置，但能够进行位置检测的范围受到限制。

本实用新型的目的在于，提供一种能够在长距离的范围内检测设置于往复动作部件的磁铁的位置的位置检测装置。

用于解决技术问题的方案

本实用新型的位置检测装置检测沿磁化方向移动的磁铁的位置，并具有：第一桥接电路，输出SIN信号，并具备在作为所述磁化方向的第一方向的磁场具有最大灵敏度的磁阻元件、以及在与所述第一方向正交的第二方向的磁场具有最大灵敏度的磁阻元件；第二桥接电路，输出COS信号，并具备在第三方向上具有最大灵敏度的磁阻元件、以及在与所述第三方向正交的第四方向上具有最大灵敏度的磁阻元件，所述第三方向相对于所述第一方向倾斜45度；以及区域判别单元，具有磁场方向检测传感器，并输出区域判别信号，所述区域判别信号用于判别所述磁铁相对于所述第一桥接电路和所述第二桥接电路的中心部，位于移动方向一侧的区域还是位于移动方向另一侧的区域。

在上述位置检测装置中，也可以是，所述磁场方向检测传感器输出对应于以最大灵敏度方向沿着所述第二方向的方式配置的磁场方向的输出信号。