[其他]测量装置和压印设备有效

专利信息
申请号: 201790001706.7 申请日: 2017-05-15
公开(公告)号: CN212060021U 公开(公告)日: 2020-12-01
发明(设计)人: 麦克斯·迪兹;尼尔·莫里森 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: G01N27/06 分类号: G01N27/06;G01N27/07;G01N27/08;G01N27/22;G03F7/16
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 测量 装置 压印 设备
【权利要求书】:

1.一种测量装置,适于测量待监控流体的多个性质,其特征在于,所述测量装置包括:

流量电容器装置,具有流体入口及流体出口,所述流量电容器装置被构造成使所述待监控流体能从所述流体入口至所述流体出口而通过所述流量电容器装置;以及

评估单元,电连接至所述流量电容器装置,所述评估单元适于在流体通过期间测定所述流量电容器装置的电容。

2.如权利要求1所述的测量装置,其中所述待监控流体充当所述流量电容器装置的流体腔中的电介质材料,使得所述流量电容器装置的所述电容是所述待监控流体的电介质常数的函数。

3.如权利要求1所述的测量装置,其中所述流量电容器装置的已测量电容根据所述待监控流体的所述性质改变并且电介质常数是所述待监控流体的一种性质。

4.如权利要求1所述的测量装置,还包括参考电容器,电连接至所述评估单元,其中所述参考电容器包括电介质参考介质。

5.如权利要求4所述的测量装置,其中所述参考电容器包括流体通路,所述流体通路适于使作为电介质参考介质提供的参考流体通过所述参考电容器。

6.如权利要求4或5所述的测量装置,其中所述流量电容器装置选自由平行板电容器、柱状电容器及其任何组合所组成的群组。

7.如权利要求4或5所述的测量装置,其中所述评估单元包括电容测量电桥,其中所述电容测量电桥为维恩测量电桥,所述维恩测量电桥包括所述流量电容器装置及所述参考电容器两者。

8.如权利要求6所述的测量装置,其中所述评估单元包括电容测量电桥,其中所述电容测量电桥为维恩测量电桥,所述维恩测量电桥包括所述流量电容器装置及所述参考电容器两者。

9.如权利要求1至5和8任一项所述的测量装置,其中所述评估单元包括电流测量单元,所述电流测量单元适于测量通过所述流量电容器装置的电流。

10.如权利要求6所述的测量装置,其中所述评估单元包括电流测量单元,所述电流测量单元适于测量通过所述流量电容器装置的电流。

11.如权利要求7所述的测量装置,其中所述评估单元包括电流测量单元,所述电流测量单元适于测量通过所述流量电容器装置的电流。

12.如权利要求1至5、8、10和11任一项所述的测量装置,其中所述评估单元包括电压测量单元,所述电压测量单元适于测量所述流量电容器装置两端的压降。

13.如权利要求6所述的测量装置,其中所述评估单元包括电压测量单元,所述电压测量单元适于测量所述流量电容器装置两端的压降。

14.如权利要求7所述的测量装置,其中所述评估单元包括电压测量单元,所述电压测量单元适于测量所述流量电容器装置两端的压降。

15.如权利要求9所述的测量装置,其中所述评估单元包括电压测量单元,所述电压测量单元适于测量所述流量电容器装置两端的压降。

16.如权利要求1至5任一项所述的测量装置,还包括流量控制器,所述流量控制器适于控制通过所述流量电容器装置的所述待监控流体的流量。

17.如权利要求6所述的测量装置,还包括流量控制器,所述流量控制器适于控制通过所述流量电容器装置的所述待监控流体的流量。

18.如权利要求7所述的测量装置,还包括流量控制器,所述流量控制器适于控制通过所述流量电容器装置的所述待监控流体的流量。

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