[发明专利]体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基板，包括第一过孔和第二过孔；

下电极连接构件，设置在所述基板上；

下电极，设置在所述下电极连接构件上；

压电层，所述压电层的至少一部分设置在所述下电极上；

上电极，所述上电极的至少一部分设置在所述压电层上；以及

上电极连接构件，设置在所述基板上并与所述下电极连接构件分开，

其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极构成与所述基板间隔开的谐振部，

所述下电极连接构件将所述下电极电连接到所述第一过孔并支撑所述谐振部的第一边缘部，

所述上电极连接构件将所述上电极电连接到所述第二过孔并支撑所述谐振部的第二边缘部，

所述第一过孔和所述第二过孔中的任意一者或两者设置在所述谐振部下方，

所述下电极连接构件和所述上电极连接构件中的任意一者或两者包括连接到设置在所述谐振部下方的所述第一过孔和所述第二过孔中的相应的一个的相应的延伸部，并且

所述下电极连接构件、所述上电极连接构件和所述谐振部在所述基板上方形成腔。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件包括连接到所述第一过孔的延伸部，并且

所述上电极连接构件包括连接到所述第二过孔的延伸部。

3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述第一过孔和所述第二过孔两者设置在所述谐振部下方。

4.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述第一过孔和所述第二过孔中的一个设置在所述谐振部下方，并且

所述第一过孔和所述第二过孔中的剩余的一个设置在所述谐振部下方的区域的外侧。

5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接构件包括：

上电极连接支撑部，连接到所述上电极并支撑所述谐振部的所述第二边缘部；以及

延伸部，从所述上电极连接支撑部平行于所述基板的上表面延伸，并连接到所述第二过孔。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述下电极连接构件包括：

下电极连接支撑部，连接到所述下电极，并支撑所述谐振部的所述第一边缘部；以及

延伸部，从所述下电极连接支撑部平行于所述基板的上表面延伸，并连接到所述第一过孔。

7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述谐振部还包括覆盖所述腔的膜层。

8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述上电极包括将所述上电极电连接到所述上电极连接构件的连接部。

9.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接构件包括：

上电极连接支撑部，支撑所述谐振部的所述第二边缘部；

柱状部，从所述上电极连接支撑部的边缘部向上延伸；

板状部，从所述柱状部的端部平行于所述基板的上表面延伸；以及

连接部，设置在所述上电极的上表面上，并连接到所述板状部。

10.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述上电极连接支撑部的部分设置在所述谐振部下方的区域的外侧，并且

所述柱状部设置在所述上电极连接支撑部的设置于所述谐振部下方的区域的外侧的所述部分的边缘部上。