[发明专利]具有自适应性的抛光头在审
| 申请号： | 201810002749.8 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN108044484A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;路新春;陈祥玉 | 申请（专利权）人： | 清华大学;天津华海清科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 自适应性 抛光 | ||
1.一种具有自适应性的抛光头，包括枢轴组件、基体及夹片组件，所述枢轴组件由轴体及盘体组成，所述基体上设置有适于与所述轴体配合的轴孔，所述夹片组件上设置有适于与所述盘体配合的凹槽；所述枢轴组件上的轴体与基体上的轴孔配合设置，枢轴组件上的盘体设置在夹片组件上的凹槽内；其特征在于，所述盘体的外周壁设有环形凸缘，所述环形凸缘的外周面与所述凹槽的内周壁线接触。
2.根据权利要求1所述的具有自适应性的抛光头，其特征在于，所述环形凸缘的外周面在所述盘体过所述中心轴线的横截面上的正投影为外轮廓线a，所述外轮廓线a为弧形。
3.根据权利要求所述的具有自适应性的抛光头，其特征在于，所述环形凸缘的外周面在所述盘体过所述中心轴线的横截面上的正投影为外轮廓线a，所述外轮廓线线a包括至少一条弧形段和至少一条直线段。
4.根据权利要求1所述的具有自适应性的抛光头，其特征在于，所述环形凸缘的外周面在所述盘体过所述中心轴线的横截面上的正投影为外轮廓线a，所述外轮廓线线a包括多条直线。
5.根据权利要求1所述的具有自适应性的抛光头，所述环形凸缘的上方和所述环形凸缘的下方分别设有吸振环，其特征在于，所述环形凸缘与所述吸振环配合的一侧上设有通孔。
6.根据权利要求1所述的具有自适应性的抛光头，所述盘体与所述轴体之间限定出内腔，其特征在于，所述内腔内设有若干肋板，所述肋板分别与所述轴体的外周壁和所述内腔的内周壁相连。
7.根据权利要求6所述的具有自适应性的抛光头，其特征在于，所述肋板沿所述内腔的径向延伸，且若干肋板沿所述内腔的周向间隔开设置。
8.根据权利要求1所述的具有自适应性的抛光头，其特征在于，还包括缓冲件，所述缓冲件设在所述夹片组件上且位于所述基体和所述夹片组件之间。
9.根据权利要求8所述的具有自适应性的抛光头，其特征在于，所述缓冲件为缓冲柱，所述缓冲柱为多个，多个所述缓冲柱沿所述夹片组件的周向间隔开设置。
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