[发明专利]具有自适应性的抛光头

说明书

本发明公开了一种具有自适应性的抛光头,包括：枢轴组件、基体及夹片组件，枢轴组件由轴体及盘体组成，基体上设置有适于与轴体配合的轴孔，夹片组件上设置有适于与盘体配合的凹槽；枢轴组件上的轴体与基体上的轴孔配合设置，枢轴组件上的盘体设置在夹片组件上的凹槽内；盘体的外周壁设有环形凸缘，环形凸缘的外周面与凹槽的内周壁线接触。根据本发明的具有自适应性的抛光头，能够保证抛光头的定心功能，提高抛光头稳定性和自适应性。

技术领域

本发明涉及化学机械抛光技术领域，尤其涉及一种具有自适应性的抛光头。

背景技术

抛光头是化学机械抛光单元的重要组成部分，相关技术的抛光头相当于一个万向节，枢轴组件只能吸收夹片组件与基座之间的上下方向振动，在旋转驱动机构的带动下，枢轴组件相对于基座做高速旋转运动，使得枢轴组件在会出现一定偏转，会产生周向的摆动，存在定心功能不足、自适应性差的问题。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出一种具有自适应性的抛光头，能够有效降低枢轴组件的摆动，使得稳定性和自适应性提高

根据本发明实施例的具有自适应性的抛光头，包括：枢轴组件，所述枢轴组件包括轴体和盘体，所述盘体与所述轴体相连且与所述轴体同轴设置，所述盘体的外周壁设有环形凸缘；夹片组件，所述夹片组件上设有适于与所述盘体配合的凹槽，所述盘体配合在所述凹槽内且所述环形凸缘的外周面与所述凹槽的内周壁线接触。

由此，根据本发明实施例的具有自适应性的抛光头，环形凸缘的外周面与凹槽的内周壁线接触，这样，在抛光头旋转时，一方面可防止枢轴组件发生径向方向的移动，以保证抛光头的定心功能，而且环形凸缘可在凹槽内进行适应性摆动，从而可提高抛光头稳定性和自适应性，提高基片的平行度，进而改善基片的抛光特性。

另外，根据本发明实施例的具有自适应性的抛光头还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一些实施例，所述环形凸缘的外周面在所述盘体过所述中心轴线的横截面上的正投影为外轮廓线a，所述外轮廓线线a为弧形。

根据本发明的一些实施例，所述环形凸缘的外周面在所述盘体过所述中心轴线的横截面上的正投影为外轮廓线a，所述外轮廓线线a包括至少一条弧形段和至少一条直线段。

根据本发明的一些实施例，所述环形凸缘的外周面在所述盘体过所述中心轴线的横截面上的正投影为外轮廓线a，所述外轮廓线线a包括多条直线。

根据本发明的一些实施例，所述环形凸缘的上方和所述环形凸缘的下方分别设有吸振环，所述环形凸缘与所述吸振环配合的一侧上设有通孔。

根据本发明的一些实施例，所述盘体与所述轴体之间限定出内腔，所述内腔内设有若干肋板，所述肋板分别与所述轴体的外周壁和所述内腔的内周壁相连。

可选地，所述肋板沿所述内腔的径向延伸，且若干肋板沿所述内腔的周向间隔开设置。

可选地，所述具有自适应性的抛光头还包括：缓冲件，所述缓冲件设在所述夹片组件上且位于所述基体和所述夹片组件之间。

可选地，所述缓冲件为缓冲柱，所述缓冲柱为多个，多个所述缓冲柱沿所述夹片组件的周向间隔开设置。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是根据本发明实施例的具有适应性抛光头的枢轴组件的结构示意图；

图2是根据本发明一个实施例的具有适应性抛光头的枢轴组件的剖视意图；

图3是图2中A的放大图；