[发明专利]形成薄膜的方法和用于沉积薄膜的混合物有效
申请号: | 201810004171.X | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108281573B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 李在庸;朴一秀;金瑟雍;沈治映 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 薄膜 方法 用于 沉积 混合物 | ||
1.形成薄膜的方法,所述方法包括:
制备用于沉积薄膜的混合物,所述用于沉积薄膜的混合物包括形成发光层的发光层材料以及形成邻近所述发光层的至少一个层的附加材料;以及
通过将所述用于沉积薄膜的混合物加热到所述发光层材料的加工温度和所述附加材料的加工温度,在腔室内部将所述发光层和邻近所述发光层的所述至少一个层顺序地层压到衬底上,
其中:
所述发光层材料和所述附加材料具有彼此不同的加工温度,以及
所述发光层材料和所述附加材料从在所述混合物中的所述发光层材料和所述附加材料之中具有较低加工温度的一个到在所述混合物中的所述发光层材料和所述附加材料之中具有较高加工温度的一个从所述混合物被顺序地层压到所述衬底上。
2.如权利要求1所述的形成薄膜的方法,其中,所述用于沉积薄膜的混合物的温度以逐级的方式升高。
3.如权利要求1所述的形成薄膜的方法,其中,
所述附加材料包括空穴注入层材料和空穴传输层材料,以及
所述空穴注入层材料和所述空穴传输层材料被共沉积。
4.如权利要求1所述的形成薄膜的方法,其中,
制备所述用于沉积薄膜的混合物包括:制备用于形成发射处于第一波长带中的光的第一有机复合层的第一混合物、制备用于形成发射处于第二波长带中的光的第二有机复合层的第二混合物以及制备用于形成发射处于第三波长带中的光的第三有机复合层的第三混合物,以及
所述形成薄膜的方法包括:在所述衬底的不同区域中使用所述第一混合物、所述第二混合物和第三混合物分别形成各个所述第一有机复合层、所述第二有机复合层和所述第三有机复合层。
5.用于沉积薄膜的混合物,所述混合物包括:
发光层材料,用于形成有机发光设备的发光层;以及
附加材料,用于形成邻近所述发光层的至少一个层,
其中所述发光层材料和所述附加材料具有不同的加工温度,在所述加工温度处,腔室内部的蒸汽压力变成等于加工压力,所述发光层材料和所述附加材料形成为从在所述混合物中的所述发光层材料和所述附加材料之中具有较低加工温度的一个到在所述混合物中的所述发光层材料和所述附加材料之中具有较高加工温度的一个从所述混合物被顺序地蒸发。
6.如权利要求5所述的用于沉积薄膜的混合物,其中,所述附加材料包括从空穴注入层材料、空穴传输层材料、电子传输层材料和电子注入层材料中选择的至少之一。
7.如权利要求6所述的用于沉积薄膜的混合物,其中,
所述电子传输层材料具有第一加工温度,所述发光层材料具有第二加工温度,以及所述空穴传输层材料具有第三加工温度,以及
其中所述第一加工温度与所述第二加工温度相差20-100℃,以及所述第二加工温度与所述第三加工温度相差20-100℃。
8.如权利要求6所述的用于沉积薄膜的混合物,其中,所述空穴注入层材料和所述空穴传输层材料具有这样的加工温度,所述加工温度使得当制造有机发光设备时,所述空穴注入层材料和所述空穴传输层材料能够共沉积。
9.如权利要求5所述的用于沉积薄膜的混合物,其中,所述发光层材料和所述附加材料中的至少之一基于从所述发光层发射的光的波长带来选择。
10.如权利要求5所述的用于沉积薄膜的混合物,还包括:
导热体,将热量传至所述发光层材料和所述附加材料;以及
粘合物,使所述发光层材料与所述附加材料结合。
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