[发明专利]形成薄膜的方法和用于沉积薄膜的混合物有效
申请号: | 201810004171.X | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108281573B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 李在庸;朴一秀;金瑟雍;沈治映 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;刘铮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 薄膜 方法 用于 沉积 混合物 | ||
本申请涉及形成薄膜的方法和用于沉积薄膜的混合物,形成薄膜的方法包括:制备包括形成发光层的发光层材料和形成邻近发光层的层的材料的混合物;以及通过将所述混合物加热至发光层材料的加工温度和附加材料的加工温度,在腔室内部将发光层和邻近发光层的层顺序地层压到衬底上。发光层材料和附加材料具有彼此不同的加工温度。发光层材料和附加材料从发光层材料和附加材料之中具有较低加工温度的一个到发光层材料和附加材料之中具有较高加工温度的一个被顺序地层压到衬底上。
相关申请的交叉引用
于2017年1月6日提交至韩国知识产权局的且标题为“Organic Light EmittingDevice(有机发光设备)”的第10-2017-0002413号韩国专利申请通过引用以其整体并入本文。
技术领域
实施方式涉及用于制造有机发光设备的有机发光设备材料,以及通过使用所述有机发光设备材料制造有机发光设备的方法。
背景技术
有机发光设备包括一对电极和介于所述电极之间的有机复合层。有机发光设备是利用了这样的现象的有源发光设备,即,当电流被供应至电极时,通过电极注入的电子和空穴在有机复合层中重组以生成光。此有机发光设备是轻质的,具有若干组件,并且可通过简单且明了的制造过程来构建。有机发光设备具有宽视角并且生成高质量图像。另外,当被降低了功耗的低电压电源驱动时,有机发光设备可完全地呈现高色纯度和动态图像。因此,其电气特性适合于便携式电子设备。
常规的有机发光设备包括衬底/阴极/有机复合层/和阳极。有机复合层可包括空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、发光层、空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层中的至少之一。
为了将有机发光设备的功耗减到最少,最近的研究已经专注于串联式有机发光设备,所述串联式有机发光设备具有多个发光单元以及介于所述发光单元之间的连接层。
发明内容
实施方式指向形成薄膜的方法,包括:预备用于沉积薄膜的混合物,所述用于沉积薄膜的混合物包括形成发光层的发光层材料和形成邻近发光层的至少一个层的附加;以及通过将所述用于沉积薄膜的混合物加热至发光层材料的加工温度和附加材料的加工温度,在腔室内部将发光层和邻近发光层的所述至少一个层顺序地层压到衬底上。发光层材料和附加材料具有彼此不同的加工温度。发光层材料和附加材料从发光层材料和附加材料之中具有较低加工温度的一个到发光层材料和附加材料之中具有较高加工温度的一个被顺序地层压到衬底上。
用于沉积薄膜的混合物的温度能以逐级的方式升高。
附加材料可包括空穴注入层材料和空穴传输层材料。空穴注入层材料和空穴传输层材料可共沉积。
用于沉积薄膜的混合物可包括:用于形成发射处于第一波长带中的光的第一有机复合层的第一混合物、用于形成发射处于第二波长带中的光的第二有机复合层的第二混合物以及用于形成发射处于第三波长带中的光的第三有机复合层的第三混合物。形成薄膜的方法可包括:在衬底的不同区域中形成各个的第一有机复合层、第二有机复合层和第三有机复合层。
所述方法可包括:在单个腔室中加热第一混合物、第二混合物和第三混合物。
形成薄膜的方法还可包括:将第一掩模附接至衬底上;通过加热第一混合物在衬底上形成第一有机复合层;移除第一掩模并且将第二掩模附接至衬底上;通过加热第二混合物在衬底上形成第二有机复合层;移除第二掩模并且将第三掩模附接至衬底上;以及通过加热第三混合物在衬底上形成第三有机复合层。
实施方式还指向用于沉积薄膜的混合物,所述用于沉积薄膜的混合物包括:用于形成有机发光设备的发光层的发光层材料以及用于形成邻近发光层的至少一个层的附加材料。发光层材料和附加材料可具有不同的加工温度,在所述加工温度处,腔室内部的蒸汽压力变成等于加工压力。
附加材料可包括从空穴注入层材料、空穴传输层材料、电子传输层材料和电子注入层材料中选择的至少之一。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司,未经三星显示有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810004171.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择