[发明专利]掩模板探伤装置及探伤方法

权利要求书

1.一种掩模板探伤装置，其特征在于，包括：

光量接收器，设置于掩模板载物台的一端并能沿所述掩模板载物台的下方运动，用于接收透过掩模板的光信号；

光电转换模块，用于将所述光信号转换为电信号；

计算模块，用于将基于待测掩模板经过光电转换而得到的电信号与预设的参考电信号进行对比，以判断对比结果是否超出阈值范围；

报警模块，用于在所述对比结果超出所述阈值范围时发出警报。

2.根据权利要求1所述的掩模板探伤装置，其特征在于，所述计算模块包括：

信号存储单元，用于存储基于未损伤的参考掩模板经过所述光电转换而得到的参考电信号。

3.根据权利要求1所述的掩模板探伤装置，其特征在于，所述计算模块包括：

阈值设定单元，用于为所述掩模板的探伤设定所述阈值范围。

4.根据权利要求3所述的掩模板探伤装置，其特征在于，所述阈值设定单元包括：

第一阈值设定子单元，用于获取基于携带颗粒的第一掩模板经过所述光电转换而得到的第一电信号，并根据所述第一电信号与所述参考电信号设定阈值下限；

第二阈值设定子单元，用于获取基于损伤的第二掩模板经过所述光电转换而得到的第二电信号，并根据所述第二电信号与所述参考电信号设定阈值上限。

5.根据权利要求4所述的掩模板探伤装置，其特征在于，所述第二掩模板为铬掩模板。

6.根据权利要求1所述的掩模板探伤装置，其特征在于，所述掩模板探伤装置还包括：

反馈模块，用于在发出警报的同时反馈一控制信号至曝光设备，以使所述曝光设备停止工作。

7.根据权利要求1-6任一项所述的掩模板探伤装置，其特征在于，所述掩模板探伤装置还包括：

导轨，并行设置在所述掩模板载物台上方的两侧；

电机，设置在所述导轨上且与所述光量接收器相连，用于控制所述光量接收器沿所述掩模板载物台的下方运动。

8.一种掩模板探伤方法，其特征在于，包括：

接收透过待测掩模板的光信号并将所述光信号转换成电信号；

将所述电信号与预设的参考电信号进行对比，以判断对比结果是否超出阈值范围；

在所述对比结果超出所述阈值范围时发出警报。

9.根据权利要求8所述的掩模板探伤方法，其特征在于，所述接收透过待测掩模板的光信号包括：

通过并行设置在掩模板载物台上方的导轨以及设置在所述导轨上的电机控制光量接收器沿所述掩模板载物台的下方运动，以使所述光量接收器接收透过所述待测掩模板的光信号。

10.根据权利要求8所述的掩模板探伤方法，其特征在于，所述掩模板探伤方法还包括：

基于未损伤的参考掩模板获取参考光信号并将所述参考光信号转换成参考电信号以进行存储。

11.根据权利要求8所述的掩模板探伤方法，其特征在于，所述掩模板探伤方法还包括：

根据所述参考电信号为所述掩模板的探伤设定所述阈值范围。

12.根据权利要求11所述的掩模板探伤方法，其特征在于，所述根据所述参考电信号为所述掩模板的探伤设定所述阈值范围包括：

获取基于携带颗粒的第一掩模板经过光电转换而得到的第一电信号，并根据所述第一电信号与所述参考电信号设定阈值下限；

获取基于损伤的第二掩模板经过光电转换而得到的第二电信号，并根据所述第二电信号与所述参考电信号设定阈值上限。

13.根据权利要求8所述的掩模板探伤方法，其特征在于，所述掩模板探伤方法还包括：

在发出警报的同时还反馈一控制信号至曝光设备，以使所述曝光设备在预设时段后停止工作。