[发明专利]发光二极管及其制备方法、照明装置有效
申请号: | 201810004954.8 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108231967B | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 胡威威;高锦成;惠官宝 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/22;H01L33/24;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 曲鹏;张京波 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 发光功能层 漫射结构 光线传输 全反射 衬底 外量子效率 出光效率 技术手段 显示装置 照明装置 减小 制备 应用 制造 | ||
1.一种发光二极管,其特征在于,包括衬底以及设置在所述衬底上的发光功能层,所述发光功能层中设置有用于改变光线传输路径的漫射结构;
所述发光功能层包括在所述衬底上依次设置的第一有源层、量子阱、第二有源层、欧姆接触层和导电层,所述漫射结构设置在所述欧姆接触层中;
所述欧姆接触层包括第一掺杂层和第二掺杂层,所述第一掺杂层设置在所述第二有源层上,表面形成有规则排布的多个棱锥形,所述第二掺杂层设置在所述第一掺杂层上,使所述第一掺杂层和第二掺杂层之间的接触面形成漫射结构。
2.根据权利要求1所述的发光二极管,其特征在于,所述第一有源层包括n型有源层,所述第二有源层包括p型有源层,所述第一掺杂层包括p型重掺杂层,厚度为20~500nm,所述第二掺杂层包括n型重掺杂层,厚度为20~500nm。
3.根据权利要求1或2所述的发光二极管,其特征在于,所述棱锥形的高度为10~2000nm,或者,所述棱锥形的高度为0.1λ~5λ,λ为量子阱发出光的波长。
4.一种照明装置,其特征在于,包括如权利要求1~3任一所述的发光二极管。
5.一种发光二极管的制备方法,其特征在于,包括:
在衬底上形成发光功能层,所述发光功能层中形成有用于改变光线传输路径的漫射结构,包括:
在衬底上依次生长第一有源层、量子阱、第二有源层;
在所述第二有源层上生长p型重掺杂层,对p型重掺杂层进行湿法腐蚀处理,在所述p型重掺杂层的表面形成规则排布的多个棱锥形;
在所述p型重掺杂层上生长n型重掺杂层,使所述p型重掺杂层和n型重掺杂层之间的接触面形成漫射结构。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,对p型重掺杂层进行湿法腐蚀处理,包括:
在p型重掺杂层的表面上涂布4~8mol/L的氢氧化钾或磷酸溶液,腐蚀2~30min,使所述p型重掺杂层的表面形成规则排布的多个棱锥形,腐蚀深度为10~2000nm,或者,腐蚀深度为0.1λ~5λ,λ为量子阱发出光的波长。
7.根据权利要求5或6所述的制备方法,其特征在于,
在衬底上依次生长第一有源层、量子阱、第二有源层,包括:在衬底上依次生长n型有源层、量子阱、p型有源层;
在所述第二有源层上生长p型重掺杂层,包括:在p型有源层上生长厚度为20~500nm的p型重掺杂层;
在所述p型重掺杂层上生长n型重掺杂层,包括:在p型重掺杂层上生长厚度为20~500nm的n型重掺杂层。
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