[发明专利]发光二极管及其制备方法、照明装置有效
申请号: | 201810004954.8 | 申请日: | 2018-01-03 |
公开(公告)号: | CN108231967B | 公开(公告)日: | 2019-06-04 |
发明(设计)人: | 胡威威;高锦成;惠官宝 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/22;H01L33/24;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 曲鹏;张京波 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 发光功能层 漫射结构 光线传输 全反射 衬底 外量子效率 出光效率 技术手段 显示装置 照明装置 减小 制备 应用 制造 | ||
本发明实施例提供一种发光二极管及其制造方法和显示装置。发光二极管,包括衬底以及设置在所述衬底上的发光功能层,所述发光功能层中设置有用于改变光线传输路径的漫射结构。本发明通过在发光功能层内设置漫射结构,漫射结构能够改变光线传输路径,减小了光在发光二极管内部出现的全反射,进而减少由于全反射所造成的损耗,提高了出光效率,增大了外量子效率。本发明技术手段简洁,效果明显,易于实施,具有广泛的应用前景。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种发光二极管及其制备方法、照明装置。
背景技术
由于半导体发光二极管(Light Emitting Diode,LED)具有结构简单、体积小、节能、高效、长寿、光线清晰等优点,近年来已逐渐取代白炽灯、荧光灯等传统照明灯具,正成为新一代照明市场的主流产品,在光电系统中的应用也极为普遍。目前,半导体发光二极管都是采用在衬底上生长发光功能层(也称外延结构),衬底包括蓝宝石衬底或氮化镓基(GaN)衬底。
经本申请发明人研究发现,由于衬底的折射率远远超过空气的折射率(GaN的折射率为2.5,蓝宝石的折射率为1.8),导致在顶层或底层出光面全反射的临界角过小,光线到达顶层或底层后,部分光线会发生全反射,使得这部分光线在LED内部来回反射,甚至被消耗掉,大大降低了出光效率,以至于在大电流密度下,外量子效率(EQE)非常低。
因此,如何提高LED的出光效率,是本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明实施例所要解决的技术问题是,提供一种发光二极管及其制备方法、照明装置,以克服现有结构出光效率低的缺陷。
为了解决上述技术问题,本发明实施例提供了一种发光二极管,包括衬底以及设置在所述衬底上的发光功能层,所述发光功能层中设置有用于改变光线传输路径的漫射结构。
可选地,所述发光功能层包括在所述衬底上依次设置的第一有源层、量子阱、第二有源层、欧姆接触层和导电层,所述漫射结构设置在所述欧姆接触层中。
可选地,所述欧姆接触层包括第一掺杂层和第二掺杂层,所述第一掺杂层设置在所述第二有源层上,表面形成有规则排布的多个棱锥形,所述第二掺杂层设置在所述第一掺杂层上,使所述第一掺杂层和第二掺杂层之间的接触面形成漫射结构。
可选地,所述第一有源层包括n型有源层,所述第二有源层包括p型有源层,所述第一掺杂层包括p型重掺杂层,厚度为20~500nm,所述第二掺杂层包括n型重掺杂层,厚度为20~500nm。
可选地,所述棱锥形的高度为10~2000nm,或者,所述棱锥形的高度为0.1λ~5λ,λ为量子阱发出光的波长。
本发明实施例还提供了一种照明装置,包括前述的发光二极管。
为了解决上述技术问题,本发明实施例还提供了一种发光二极管的制备方法,包括:
在衬底上形成发光功能层,所述发光功能层中形成有用于改变光线传输路径的漫射结构。
可选地,在衬底上形成发光功能层,所述发光功能层中形成有用于改变光线传输路径的漫射结构,包括:
在衬底上依次生长第一有源层、量子阱、第二有源层;
在所述第二有源层上生长第一掺杂层,对第一掺杂层进行湿法腐蚀处理,在所述第一掺杂层的表面形成规则排布的多个棱锥形;
在所述第一掺杂层上生长第二掺杂层,使所述第一掺杂层和第二掺杂层之间的接触面形成漫射结构。
可选地,对第一掺杂层进行湿法腐蚀处理,包括:
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