[发明专利]处理多晶硅还原尾气的系统和方法

权利要求书

1.一种处理多晶硅还原尾气的系统，其特征在于，包括：

吸收塔，所述吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口；

精馏塔，所述精馏塔具有含氯化氢富液入口、第一氯化氢混合气出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口，所述含氯化氢富液入口与所述含氯化氢富液出口相连；

第一分凝器，所述第一分凝器具有第一氯化氢混合气入口、第二氯化氢混合气出口和三氯氢硅出口，所述第一氯化氢混合气入口与所述第一氯化氢混合气出口相连；

第二分凝器，所述第二分凝器具有第二氯化氢混合气入口、氯化氢出口和二氯二氢硅出口，所述第二氯化氢混合气入口与所述第二氯化氢混合气出口相连。

2.根据权利要求1所述的处理多晶硅还原尾气的系统，其特征在于，进一步包括：

储罐，所述储罐具有三氯氢硅入口和回收三氯氢硅出口；所述精馏塔还具有回收三氯氢硅入口，所述回收三氯氢硅入口与所述回收三氯氢硅出口相连。

3.根据权利要求1所述的处理多晶硅还原尾气的系统，其特征在于，进一步包括：

第一换热器，所述第一换热器具有第一高温四氯化硅入口和第一低温四氯化硅出口，所述第一四氯化硅入口与所述回收四氯化硅出口相连；

第二换热器，所述第二换热器具有第二高温四氯化硅入口、低温含氯化氢富液入口、第二低温四氯化硅出口和高温含氯化氢富液出口，所述第二高温四氯化硅入口与所述第一低温四氯化硅出口相连，所述低温含氯化氢富液入口与所述吸收塔的含氯化氢富液出口相连，高温含氯化氢富液出口与所述精馏塔的含氯化氢富液入口相连。

4.根据权利要求3所述的处理多晶硅还原尾气的系统，其特征在于，所述第二低温四氯化硅出口与所述吸收塔的四氯化硅入口相连。

5.一种采用权利要求1～4任一项所述的处理多晶硅还原尾气的系统处理多晶硅还原尾气的方法，其特征在于，包括：

将多晶硅还原尾气和四氯化硅供给至吸收塔中进行吸收处理，以便得到含氯化氢富液，并分离得到氢气；

将所述含氯化氢富液供给至精馏塔中进行精馏处理，以便得到第一氯化氢混合气、回收四氯化硅和高沸物；

将所述第一氯化氢混合气供给至第一分凝器中进行第一分凝处理，以便得到第二氯化氢混合气和三氯氢硅；

将所述第二氯化氢混合气供给至第二分凝器中进行第二分凝处理，以便得到氯化氢和二氯二氢硅。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述三氯氢硅供给至储罐中储存，并将所述三氯氢硅的一部分返回所述精馏塔中用于所述精馏处理。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述回收四氯化硅供给至第一换热器中进行换热，以便得到第一低温四氯化硅；

将所述第一低温四氯化硅的一部分供给至第二换热器中与所述含氯化氢富液进行换热，以便得到高温含氯化氢富液和第二低温四氯化硅。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，进一步包括：

将所述第二低温四氯化硅返回所述吸收塔中用于所述吸收处理。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述吸收塔的塔顶温度为-40～-37℃，塔顶压力为1.0～1.1MPa，塔釜温度为-35～-32℃，塔釜压力为1.0～1.1MPa。

10.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述精馏塔的塔顶温度为79～81℃，塔顶压力为0.35～0.36MPa，塔釜温度为115～117℃，塔釜压力为0.39～0.40MPa。