[发明专利]处理多晶硅还原尾气的系统和方法

说明书

本发明公开了处理多晶硅还原尾气的系统和方法。该系统包括：吸收塔，所述吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口；精馏塔，所述精馏塔具有含氯化氢富液入口、第一氯化氢混合气出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口；第一分凝器，所述第一分凝器具有第一氯化氢混合气入口、第二氯化氢混合气出口和三氯氢硅出口；第二分凝器，所述第二分凝器具有第二氯化氢混合气入口、氯化氢出口和二氯二氢硅出口。该系统采用四氯化硅作为吸收剂吸收氯化氢，并通过对含氯化氢富液进行精馏，即可实现氯化氢、四氯化硅及高沸物的分离，极大地简化工艺流程，达到了高效、节能、减小投资的目的。

技术领域

本发明涉及化工领域，具体而言，本发明涉及处理多晶硅还原尾气的系统和方法。

背景技术

目前多晶硅还原反应中产生氯化氢尾气采用冷凝、压缩、吸收、解吸、吸附等流程将还原尾气中氯硅烷、氯化氢、氢气等进行有效分离，分离后的氯硅烷还需要送往精馏工序进行两级精馏，才可除去其中的四氯化硅和硅粉。

申请号为201610300902.6，名称为“多晶硅还原尾气回收方法和回收系统”的专利提供了一种多晶硅还原尾气回收方法，包括：利用氯化氢吸收塔塔顶输出的不凝气的冷量对所述还原尾气进行冷却处理，得到冷却后的还原尾气；在氯化氢吸收塔中利用塔顶自上而下的含有微量氯化氢的液相氯硅烷对所述冷却后的还原尾气进行吸收处理，从塔釜输出富含氯化氢的液相氯硅烷，从塔顶输出不凝气；在氯化氢解吸塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解吸处理；利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解吸塔输出的含有微量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理，并将冷却后含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶。相应地，还提供一种回收系统。本发明所述回收方法和回收系统的冷量利用合理。以上工艺只是在经典的吸收-解吸尾气回收技术上对热量平衡进行优化，合理利用冷量，并未减少工艺流程和设备投资。

因此，现有的处理多晶硅还原气的手段仍有待改进。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出处理多晶硅还原气的系统和方法。该系统采用四氯化硅作为吸收剂吸收氯化氢，并通过对含氯化氢富液进行精馏，即可实现氯化氢、四氯化硅及高沸物的分离，极大地简化工艺流程，达到了高效、节能、减小投资的目的。

在本发明的第一方面，本发明提出了一种处理多晶硅还原尾气的系统。根据本发明的实施例，该系统包括：吸收塔，所述吸收塔具有多晶硅还原尾气入口、四氯化硅入口、氢气出口和含氯化氢富液出口；精馏塔，所述精馏塔具有含氯化氢富液入口、第一氯化氢混合气出口、回收四氯化硅出口和高沸物出口，所述含氯化氢富液入口与所述含氯化氢富液出口相连；第一分凝器，所述第一分凝器具有第一氯化氢混合气入口、第二氯化氢混合气出口和三氯氢硅出口，所述第一氯化氢混合气入口与所述第一氯化氢混合气出口相连；第二分凝器，所述第二分凝器具有第二氯化氢混合气入口、氯化氢出口和二氯二氢硅出口，所述第二氯化氢混合气入口与所述第二氯化氢混合气出口相连。