[发明专利]一种靶材刻蚀量测量装置

权利要求书

1.一种靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，包括采集部和测量部；

所述采集部包括测量针框架以及设置于所述测量针框架内的多排测量针；所述多排测量针的测量端用于与靶材的至少一部分刻蚀面相接触，并按照所述至少一部分刻蚀面的形状定型；所述多排测量针的测量端在定型后能够拟合出的端面为与所述至少一部分刻蚀面相匹配的模拟面；

所述测量部与形成所述模拟面后的所述采集部相互对合，所述测量部用于与所述模拟面凸起尺寸最大处的测量针的测量端相接触，并测得所述刻蚀面凹陷的最大深度。

2.根据权利要求1所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，

所述测量部包括支架以及安装于所述支架上的测量尺；所述支架和所述测量针框架的内侧设置有轨道；在采集部与所述测量部对合的情况下，所述测量尺用于沿所述支架上的轨道移动至所述测量针框架上的轨道，并与所述模拟面凸起尺寸最大处的测量针的测量端相接触。

3.根据权利要求1所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，构成所述测量针框架和所述测量针的材料为软磁材料；

所述测量针框架内部设置有电磁线。

4.根据权利要求1-3任一项所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述采集部还包括安装于所述测量针框架上的振动器；所述振动器用于驱动所述测量针沿平行于该测量针横截面的方向振动。

5.根据权利要求2所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述测量尺的侧面设置有第一刻度线；所述支架靠近所述采集部的一端设置有第二刻度线；

其中，所述第一刻度线所在的表面与所述第二刻度线所在的表面平行；

所述测量针框架与所述支架对合形成的接触面位于所述第二刻度线的零刻度；所述第一刻度线与所述第二刻度线的最小刻度值相同。

6.根据权利要求5所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述测量尺的厚度大于或等于所述靶材的厚度。

7.根据权利要求5所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述测量针框架与所述支架相对的表面设置有第一卡合结构；

所述支架与所述测量针框架相对的表面设置有与所述第一卡合结构相配合的第二卡合结构。

8.根据权利要求2所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述测量尺在靠近所述轨道的一侧设置有滚珠。

9.根据权利要求2所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述测量部还包括推杆和把手；

所述推杆的一端安装于所述测量尺的背面，所述测量尺的背面和所述测量尺与所述模拟面相接触的表面相对设置；

所述把手安装于所述推杆的另一端。

10.根据权利要求1所述的靶材刻蚀量测量装置，其特征在于，所述测量针框架在背离所述测量针测量端的一侧开设有观测口，所述观测口用于观测所述测量针。